플라즈마 발생 챔버에서 아르곤, 헬륨, 질소, 산소 또는 크세논으로 생성된 가스 플라즈마는 별도의 멸균 진공 챔버로 전달됩니다. 비플라즈마 가스 멸균 절차는 오존을 사용하여 설명되어 있습니다 미국 Pat. No.

A gas plasma produced in the plasma generating chamber with argon, helium, nitrogen, oxygen or xenon is passed into a separate sterilization vacuum chamber. Nonplasma gas sterilization procedures have been described using ozone U.S. Pat. No.