구조의 강성, 전송 및 서보 제어 루프는 장치의 전체 강성과 대역폭을 결정합니다. 구조와 전송의 강성은 매우 높게 만들 수 있습니다. 따라서 공개된 장치의 제한 강성은 서보 루프입니다.

The stiffness of the structure, transmission and the servo control loop determine the overall stiffness and bandwidth of the device. The stiffness of the structure and transmission can be made very high. Therefore, the limiting stiffness for the device disclosed is the servoloop.