시료에 따라 질화물 박막층을 모두 증착했습니다. ALD 나노라미네이트의 총 두께는 약 nm였습니다. 필름은 어둡고 빛을 반사하는 거울처럼 보였습니다.

Altogether to nitride thin film layers were deposited, depending on the sample. The total thickness of the ALD nanolaminate was approximately nm. The film appeared as a dark, light reflecting mirror.