부산물과 기체 게터 사이의 반응은 휘발성 화학 화합물을 형성합니다. 증착은 광범위한 압력 조건에서 수행될 수 있지만, 감압에서 공정을 작동하는 것이 바람직합니다. 반응기의 압력은 바람직하게는 약 사이에서 유지됩니다.

Reactions between byproducts and a gaseous getter form volatile chemical compounds. The deposition can be carried out at a wide range of pressure conditions, but it is preferred to operate the process at reduced pressure. The pressure in the reactor is preferably maintained between about.