도파관에서는 가스에 전원이 공급되고 튜브에서 플라즈마로 변환됩니다. 가스 발생 튜브는 플라즈마 흐름을 가스 분배 튜브로 유도하고, 여기서 플라즈마가 멸균 챔버로 공급됩니다. 가스 발생 튜브는 관형 금속 냉각 튜브로 둘러싸여 있습니다.

In the waveguide , the gases are energized and convert in tubes , and to a plasma. The gas generator tube directs the plasma flow into the gas distribution tubes , and from which the plasma is fed into the sterilizing chamber. The gas generator tubes are enclosed in tubular metal cooling tubes and.