fi fi en fi fi fi fi fi en fi fi de fi pt fi fi hu it fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi pt fi fi ur fi fi fi fi fi fi it fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi id fi en fi fi fi fi fi fi fi it fi fi fi fi fi en tr fi es en en fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi et en ru fi fi fi en fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi en en en en en en en en en en id en en en en en lt en en en en en fr en en en en en en en en en en en en nl en en en en en en en en en en en en en en fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi en fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi hu fi fi fi fi fi fi fi fi en fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi fi en fi en fi fi fi fi fi
Micronova, soveltavan mikro- ja nanoteknologian keskus | VTT
Artificial intelligence (AI) & Big Data
Vaihda kieltä, nykyinen kieli: Finnish FI
Open a VTT clock Main Menu Sulje
Time is not loaded yet
Micronova, soveltavan mikro- ja nanoteknologian keskus
Micronova sijaitsee Espoossa ja siellä on Pohjoismaiden suurin T&K-käytössä oleva puhdastila. Micronova on VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteiskäytössä. Se on osa Suomen kansallista mikro-, nano- ja kvanttiteknologian tutkimusinfrastruktuuria OtaNanoa.
Micronovassa on kaksi puhdastilaa, joissa voidaan prosessoida piipohjaisille CMOS-, MEMS-ja fotoniikkakomponenttien ja ohutkalvokomponentteja sekä tehdä 3D-integrointia.
Tarjoamme puhdastilapalveluita ja koko mikro- ja nanovalmistuksen kehityssyklin perustutkimuksesta piensarjatuotantoon.
Laitos sijaitsee Otaniemen teknologiakampuksella Espoossa, ja se on VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteiskäytössä.
VTT tekee Micronovassa mikroelektroniikkaan liittyvää tutkimus- ja kehitystyötä. Kehitämme innovatiivisia mahdollistavia teknologioita ja sovellamme niitä käytännön mikro- ja nanojärjestelmiin. Micronovassa on kaksi puhdastilaa, jotka yhdessä muodostavat Pohjoismaiden suurimman t&k-käytössä olevan puhdastilan. Myös pienimuotoinen puolijohteiden valmistus on mahdollista Micronovassa.
Micronova on suomalaisen elektroniikkateollisuuden ekosysteemin keskus. Puhdastiloissa voidaan prosessoida piipohjaisia CMOS-, MEMS- ja fotoniikkakomponenttien ja ohutkalvokomponentteja sekä tehdä 3D-integrointia. Micronovan puhdastiloissa tutkijamme innovoivat ja kehittävät uusia antureita, ilmaisimia, fotoniikkakomponentteja, passiivisia RF-komponentteja, PMUT-antureita ja muita MEMS-komponentteja sekä huippuluokan kvanttikomponentteja. Tuotantolaboratoriossamme on erikoistuneita huollon, prosessitekniikan, laadunvarmistuksen ja käytön ammattilaisia.
VTT tarjoaa uusien materiaalien, teknologioiden, komponenttien, järjestelmien ja prosessien tutkimusta ja kehitystä. Tarjoamme asiakkaille myös mahdollisuuden käyttää VTT:n puhdastilaa ja prosessilaitteistoa. VTT:n ainutlaatuinen asiakkaille ja kumppaneille suunnattu palvelutarjonta sisältää koko kehityssyklin perustutkimuksesta ja prosessinkehityksestä prototyyppien valmistukseen ja piensarjatuotantoon.
Palvelumme räätälöidään asiakkaiden tarpeiden mukaan. Järjestämme myös mikro- ja nanoteknologioihin liittyvää opetusta ja koulutusta.
Materiaalien ja komponenttien karakterisointi
Kokonaispinta-ala 2 600 m2
Puhdastilojen luokitus ISO 4...ISO 6
Lämpötila 21 °C ± 0,5 °C
Suhteellinen kosteus 45 % ± 5
Puhtaat työpisteet, joihin pääsy huoltoalueelta
Korotettu ja rei’itetty lattia
Tuotantotilan alapuolella oleva tila, jossa ovat tekniset tukitoiminnot
Laboratoriot, joissa on sisäänrakennettu puhdastila
Mikropakkauslaboratorio – kuutiointisahat, johtoliitokset
SubTech-laboratorio – ioni-istutus, kemiallis-mekaaninen kiillotus (CMP), taustahiontalaite, kiekkobondaus
Maailmanluokan infrastruktuuri tutkimus- ja kehitystoimintaan ja piensarjatuotantoon
Micronova sijaitsee Otaniemen teknologiakampuksella Espoossa, ja se on VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteiskäytössä.  Rakennuksessa on myös muita laboratorioita pääasiassa karakterisointiin, järjestelmätason testaukseen ja avaruuskvalifiointiin, kuten ESAn ulkoinen millimetriaaltotekniikkaan keskittyvä laboratorio MilliLab, sekä kvanttitasoisten ja kryogeenisten ilmiöiden sekä optiikan ja fotoniikan karakterisointiin tarkoitettuja laboratorioita. Käytettävissä on myös anturilaboratorio kaikkiin elektroniikan kehittämistarpeisiin.
VTT:n Micronova-puhdastila on sertifioitu ISO 9001:2008 -standardin mukaisesti valmistus-, piensarjatuotanto- ja laitoskunnossapitotoiminnan osalta.
Micronovan lisäksi VTT:llä on puhdastila Oulussa. Oulun puhdastilassa tutkijamme kehittävät pakkauksiin integroitavia hybridiratkaisuja, kuten mikromoduuleja, painettua älyä ja matalan lämpötilan keramiikkaratkaisuja (LTCC).
Micronova-valmistuslaboratorion prosessointivalmiudet: VTT:n puolijohteiden valmistuslaboratoriossa on yli 200 laitteistoa.
i-line stepper, 5:1, 0.35 µm CD
Nanoimprinting (step & stamp)
Oxide; thin film and Advanced Oxide Etching
Metals; Al, Mo, Ti-W, Nb (TCP)
LPCVD of nitride, poly, and oxide
PECVD; nitride and oxide
ALD: aluminium oxide, titanium oxide
Cu (via or wiring), Ni, Sn-Ag, Sn-Pb,
CMP of Si/oxide or copper
Wafer defect inspection system
Medium-current; n- or p-type doping of silicon
Wafer level test systems
High speed electrical and optical testing capabilities
Multiple labs for offline testing and characterization
Tekoälyn avulla terveydenhuollon ammattilaiset voivat keskittyä olennaiseen
VTT:n Niall Shakeshaft: Onko palvelumuotoilu saavuttanut huippunsa, ja jos on, mitä asialle voisi tehdä?
Mittanauhan ihmeitä ja vähän muutakin mittaamiseen liittyvää
MEMS-mikromoduulit ja Smart Edge -anturit
Miten itseohjautuvista autoista tehdään liikenneturvallisia? Voidaanko älykkäiden laastareiden avulla tunnistaa ja ennaltaehkäistä sairauksia? Kannattaako maapallon metsävarat inventoida avaruudesta käsin? Esimerkit raapaisevat vasta pintaa kaikesta siitä potentiaalista, jota digitalisaatio tuo yhteiskuntamme ja liike-elämämme ulottuville.
Lisää aiheeseen liittyvää sisältöä
Digitaalinen terveys ja diagnostiikka
5G ja tulevaisuuden verkot
Strategiamme on luoda eksponentiaalista toivoa tieteeseen perustuvien innovaatioiden avulla
Tuomme yhteen ihmiset, yritykset, tieteen ja teknologian ratkaistaksemme aikamme suurimpia haasteita. Näin luomme kestävää kasvua, työpaikkoja ja hyvinvointia. Synnytämme systeemisiä ja teknologisia läpimurtoja, jotka voivat muuttaa maailmaa. Vaikuttavuus syntyy aina yhteistyössä asiakkaiden kanssa.
Tavoitteemme on tuoda eksponentiaalista toivoa maailmaan, jonka täytyy vastata ilmastokriisiin, taata resurssien riittävyys, uudistaa teollisuutta, taata kokonaisturvallisuus ja mahdollistaa hyvä elämä kaikille.
Tule rakentamaan tulevaisuutta VTT:llä
Haluatko olla mukana luomassa uutta ja ratkomassa aikamme merkittävimpiä globaaleja haasteita? Kiehtooko soveltava tutkimus, tiede ja teknologia? Tule rakentamaan tulevaisuutta VTT:llä.
Näin ratkomme tulevaisuuden haasteita yhdessä
Autamme asiakkaitamme luomaan uutta liiketoimintaa ja ratkomaan globaaleja haasteita tieteen ja teknologian avulla. Yhteistyömme avulla teet kestävää tulevaisuuden bisnestä ja pääset mukaan huippuluokan kotimaisiin ja kansainvälisiin innovaatioverkostoihin.
Löydä lisää tietoa VTT:stä
Tilaamalla uutiskirjeemme saat viimeisimmät tutkimustulokset, teknologiamahdollisuudet ja tulevat tapahtumat suoraan sähköpostiisi.
© Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy 2022