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일본서 전량 수입하던 반도체 코팅 소재 국산화 성공 - 기술랩
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국가핵융합연구소(핵융합연)는 미세 분말 상태에서도 뭉치지 않는 용사 코팅 소재 '이트륨 옥사이드'를 국내 기업과 함께 최초로 제조했다고 29일 밝혔다.
이트륨 옥사이드는 반도체 공정 장비에 필요한 소재다. 국내 반도체 제조사가 일본에서 모두 수입해 쓰고 있는 재료다.
용사 코팅은 분말 상태의 재료를 반도체 부품 표면에 뿌려 입히는 기술이다. 내열·내구성을 높이는 과정이다.
우리나라에서 만든 이트륨 옥사이드는 핵융합연의 플라스마 기술을 적용했다.
분말끼리 서로 밀어내는 반발력이 생겨 응집되지 않고 흐름을 좋게 만들 수 있어 치밀하고 균일한 코팅막을 형성할 수 있다고 핵융합연은 설명했다.
25㎛(1㎛는 1천분의 1㎜) 이하 크기에서 고품질의 용사 코팅을 실현할 수 있다.
제품 수준은 일본 것보다 우수하다. 입자 크기나 유동도 측면에서 일본산을 뛰어넘는다고 핵융합연은 강조했다.
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