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ピュアエッジ (PURE EDGE) 100 シリーズ
ウェーハのノッチ部研磨に最適な形状、材質の研磨パッドです。ノッチの形状に合わせたプリカットタイプも用意しています。
ガス巣や不純物の巻き込みを無くした高品質鋳造の両面ラップ定盤で、球状黒鉛を均一分散させており、硬度、靭性、耐摩耗性に優れています。バリや返りがなく、均一な溝幅と深さを持つ精密目切り加工を施しています。
特殊合金鋼のスピードアロイ定盤は、高硬度・高靱性により、通常の鋳物ラップ定盤に較べ格段の研磨能力を有します。対応するリテーナリングも用意しています。水冷ベースの再利用、リサイクルベースシステムも提供します。また、ハードポリッシュ用定盤としてスチール定盤、銅定盤、錫定盤などもラインナップしています。
高研削効率と高精度を兼ね備えたクリーンな表面加工を実現するダイヤペレット定盤です。通常のラップ加工に較べて研磨時間の短縮による高生産性、コストダウンを可能とし、廃棄物を低減します。アルミナなどの難削材に適しています。
加工プロセスに応じて最適のラップ用研磨材を選択できます。GC (グリーンカーバイド)、C (カーボランダム)、WA (ホワイトアルミナ)、A (アルミナ)、FO の研磨材ラインナップにより、シリコンから、ガラス、セラミックス、金属まで、あらゆる加工物に対応します。
磁気ディスク基板、ガラス基板、半導体ウェーハなどの各種加工物に対応した各種ポリッシュ用研磨剤を用意しています。
LCD ガラス、光学ガラス、ガラスディスク、フォトマスクなど様々な用途のガラス研磨に対応出来る多種グレードを揃えています。汎用研磨剤として広範な用途に適用できます。
ラップ、ハードポリッシュ向け研削液です。油性ラップ用の 210 オイルベース、水性ラップでの砥粒分散性と防錆効果を併せ持つ 180P-10 、防錆剤、固定砥粒用の DPG クーラント液、ダイヤモンドスラリー用水溶性・油性研削液などをラインナップしています。
PVA 砥石は磁気ディスク基板、スペーサー、ヘッドアームなど、精密さが求められるさまざまなアルミニウム部品やその他の比較的軟質な金属部品の研磨加工に適用されます。優れた表面精度を得ることができ、研磨力や加工効率のアップを実現します。
シリコンウェーハのメカノケミカルポリッシュに最適な研磨パッドです。しなやかで繊細、しかもベースに根を張ったマイクロレイアーにより耐久性も抜群です。ポリウレタン表面の気孔から研磨剤が押し流される事により、優れた研磨品質とレートを実現します。
硬質ポリウレタン樹脂発泡体にセリウム研磨剤を含んだ研磨パッドです。溝加工・穴加工・両面テープ付きなど二次加工にも対応しています。特にガラスの鏡面加工に威力を発揮します。
ラップ後、ポリッシュ後の加工対象物に付着した研磨材や汚れを取り除くための洗浄液を用意しています。
PVA スポンジを使用した洗浄用ブラシ材です。水を含むと適度な弾力性を持ち、ワークに傷を付けずに表面の汚れを取り除きます。
多様な加工対象物の高精度加工を実現するため、EG、PVC、布入りベーク、SK、BS、SUS など、各種材質の両面研磨用キャリアをラインナップしています。
ウェッジキャリア (インサートキャリア)
強度のある金属キャリアのワークホール部を樹脂化し、加工対象物端面のダメージを軽減します。強固な金属と樹脂の接合により、高負荷での加工が可能です。加工プロセスに合わせた各種対応が出来ます。
ワークのチッピングを防ぎ、薄物ポリッシング加工を高精度に行うスピードファム独自のキャリアです。 SUS キャリアに薄いエポキシ樹脂をコーティングし、シリコンウェーハ、化合物半導体ウェーハ、ガラスのポリッシュ加工に最適です。
Double Side Polisher/Lapper
Fine Grinder
Single Side Polisher/Lapper
Edge Polisher
Edge Grinder
Edge Profiler
Sorter/Prober
Laser Equipment
Consumables
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