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MEMS Oscillator Architecture with TempFlat Technology
上記ブロック図を参照ください。MEMS振動子はMEMS専用回路ブロックに配置され、静電界励起力で駆動されます。MEMS振動子とMEMS専用回路が電気的に相互接続されることで、発振維持回路が動作し、MEMS振動子を機械的に振動させます。出力周波数はアナログ発振回路の「Fractional-N PLL」によって実現します。製品システムのEMIを減らすために、ほとんどのSiTime発振器はインピーダンス特性を考慮して、出力ドライブ強度を調整することが可能です。そのパラメータ設定は、アナログ発振器のダイにある「OTP (One Time Programmable)メモリ」に保存されます。
MEMS Oscillator Architecture with Temperature Compensation