The minimum resolvable feature size is calculated by the following formula: (an exposure light source wavelength in m) X (K factor) MRF = numerical aperture
Le paragraphe 1034.3. ne vise pas le «logiciel» spécialement conçu pour la saisie du schéma, la simulation logique, le placement et le routage, la vérification du schéma ou la bande de génération de schéma.