We have developed a whole-wafer, low-temperature imaging system for making absorption and photoluminescence maps of wafers up to 100 mm (4 in) in diameter.
Nous avons développé un système d'imagerie à basse température, pour des plaquettes entières, dans le but de dresser des cartes de photoluminescence et d'absorption de plaquettes de diamètre allant jusqu'à 100 mm (4 pouces).