보다 구체적으로 보자면, 입법영향분석은 이해관계 확인, 중요성 심사, 심층 분석의 단계 순서로 진행되어야 한다.
이해관계 확인(Feststellung der Betroffenheit)은 입법영향분석의 첫 단계로서, 영향분석을 시행하기 위한 비용을 줄이기 위해서는 영향분석의 대상을 확정하여 영향분석의 범위를 한정하는 것이다. 입법의 영향 유무를 조사하여, 입법의 영향이 없는 분야에 대해서는 중요성 심사로 나아갈 필요가 없도록 기능하는 것이기도 하다. 분야별로 입법의 영향 유무를 ‘예’ 또는 ‘아니오’로 응답하도록 하고 있다.
중요성 심사(Wesentlichkeitsprüfung)는 입법으로 인하여 영향을 받는 사람이 많거나 많은 예산이 소요되는지를 검토하는 과정이다. 중요성 심사에서는 행정경제(Verwaltungsökonomie)의 측면에서 국가의 자원이 적절히 투입되는지를 검토할 수 있다. 모든 경우에 재정적 영향이 중요하기 때문에 단순한 추측 보다는 재정적 영향에 관한 설득력 있는 근거가 필요하다. 심층 분석(Vertifende Abschätzung)이란 중요한 영향을 미칠 것으로 예상되는 입법 중에서 전술한 중요성 심사가 아니라 보다 심층적인 분석을 하는 절차이다. 이 단계에서는 상세정보, 내용적 실행안, 개념정의, 기타 질문 등 특별한 지침을 통해서 분석이 이루어진다.