파면 재판에는 심리에 관여한 재판원의 3분의 2 이상의 합의가 필요하고, 그 외의 재판에 대해서는 관여재판원의 과반수에 의하여 결정한다(재판관탄핵법 제31조제2항).
재판의 심리는 비공개로 하나, 탄핵재판소의 심판은 공개 법정에서 한다(재판관탄핵법 제26조). 파면소추 받은 재판관은 변호인을 선임할 수 있고, 파면의 재판은 구두변론에 의하며 소추위원이 심판에 입회한다(재판관탄핵법 제30조).
파면 결정 후 5년을 경과한 후 그 동안 발생한 사유를 감안하거나 또는 정당한 사유없이 파면된 경우에는 자격회복재판을 할 수 있다.
재판관은 사직서를 제출하였어도 탄핵소추가 있은 후에는 사임시킬 수 없는데 이를 면관보류 규정이라 한다(재판관탄핵법 제41조).
재판관은 탄핵결정으로 파면되면 그 직을 상실하며 다른 법률에 의한 법조인의 자격도 상실하게 된다(제37조).