Кремний негізінде электронды аспаптарды жасау кезінде негізінен монокристаллдың (оншама мкм-ге дейінгі қалыңдығы) беткі қабаты пайдаланылады, сондықтан кристаллдың беткі сапасы кремнийдің электрофизикалық қасиеттеріне және тиісінше жасалған электронды аспаптың қасиеттеріне елеулі әсер етуі мүмкін. Кейбір аспаптарды жасау кезінде монокристаллдың бетін өзгертетін технология қолданылады, мысалы, кремнийдің бетін әртүрлі химиялық реагенттермен өңдеу және оны сәулелеу.
Кремнийдің электрофизикалық қасиеттері нені білдіреді?
жасалған электронды аспаптың қасиеттеріне