▲台積電總裁魏哲家。（資料照／記者湯興漢攝）
記者吳美依／綜合報導
台積電曾表示，半導體設備製造商艾司摩爾（ASML）的高數值孔徑極紫外光機台（High-NA EUV）太過昂貴，在2026年以前使用，不符合經濟效益。但根據外媒引述的最新業界消息，台積電總裁魏哲家26日造訪了ASML荷蘭總部，不禁讓外界揣測，台積電是否改變心意。
台積電業務開發、海外營運辦公室資深副總經理暨副共同營運長張曉強曾經坦言，自己非常喜歡High-NA EUV機台的功能，但其售價實在太昂貴。他透露，相關製程比預期快很多，不需要該機台也能打造A16製程的晶片。
不過，根據Business Korea、外國科技新聞網站wccftech等報導，魏哲家23日並未出席台積電技術論壇，反而遠赴歐洲，秘密造訪ASML荷蘭總部，以及工業雷射公司創浦（TRUMPF）德國總部，「隨著其CEO秘密造訪ASML總部，這間晶片代工廠似乎正在重新考慮這個明確立場……該公司在High-NA EU曝光技術方面可能發生策略變化」。
金融分析師尼斯特（Dan Nystedt）也發文提及魏哲家密訪ASML的報導。他認為，台積電似乎加入了競逐High-NA EU機台的行列，「魏哲家的訪問據稱表示台積電想要這些新機台，這些機台對於2奈米以下的製程至關重要」，而ASML去年12月已向台積電主要競爭對手英特爾（Intel）交付了第一台High-NA EUV機台。