台積電總裁魏哲家現身歐洲引發聯想，不過就EUV新設備議題，台積電（2330）業務開發、海外營運辦公室資深副總經理暨副共同營運長張曉強日前已在台積電年度技術論壇台灣場次已重申，台積A16（1.6奈米）目標在2026年量產，不會採用ASML最新的High NA EUV設備。
張曉強強調，A16不會採用（EUV新設備）不代表後續不會導入，至於在何時導入，仍看成本效率與多面向來評估。
台積電先進製程推進順利，業界分析，台積電研發為依據客戶所需發展，不會盲目砸錢買下世代極紫外光微影（EUV）High NA設備。