▲台積電業務開發資深副總經理暨副共同營運長張曉強。（圖／記者高兆麟攝）
記者高兆麟／綜合報導
據外媒彭博社報導，ASML最大客戶之一台積電表示，ASML High NA EUV設備的價格成本非常高，更透露台積電未來A16的製程可能不需要使用High NA EUV設備。
台積電業務開發資深副總經理暨副共同營運長張曉強週二在阿姆斯特丹舉行的技術研討會上表示，ASML最新的高NA EUV設備成本非常高，因此他雖然喜歡高數值孔徑 EUV 的功能，但不喜歡它的標價。
ASML新機台的成本為3.5億歐元，重量相當於兩架空中巴士 A320 飛機。
張曉強表示，台積電所謂的A16技術將於2026年底推出，無需使用ASML的High NA EUV，可以繼續依賴台積電較舊的極紫外線設備。他認為目前現有的 EUV 能力應該能夠支持這一點。而使用新的 ASML 技術將取決於它在哪裡最具有經濟意義以及「可以實現的技術平衡」。
張曉強說，工廠的營運成本，包括建築、工具、電力和原材料持續上漲，這對整個行業來說是一個集體挑戰。