為了使臺灣半導體優勢結合生成式AI帶動全產業創新，經濟部長期部署「晶創臺灣方案」，提升半導體微縮製程的關鍵技術，經濟部長王美花促成台積電，捐贈三部12吋半導體高階製程開發的化學蝕刻、疊對量測與關鍵尺寸量測設備，大幅提升對產業界以及學術界的服務量能，並培育半導體高階人才，強化科技國力。
近來在AI浪潮席捲下，政府提出「晶創臺灣方案」，將擴大投入臺灣半導體先進技術研發，工研院也在經濟部協助下，取得台積電12吋晶圓高階設備，以利鞏固國家在地供應鏈的合作深度與設備人才孕育。
工研院電子與光電系統研究所所長張世杰表示，工研院深耕高階半導體材料、製程、晶片設計、元件封裝等技術開發，建構半導體產業上下游之系統設計、材料研發、元件製造、封裝測試與驗證等一條龍開發能量，並以「奈米電子實驗室」提供產業半導體薄膜、黃光、蝕刻等製程平台。感謝經濟部長王美花促成台積電捐贈三部12吋半導體製程設備，協助工研院強化國內產業12吋晶圓製造能量，建立新技術及新產品的開發及試製環境，未來將助攻新創公司及中小企業研發新產品，讓臺灣在全球科技競爭力更上一層樓。
台積電技術發展／Pathfinding及技術研究副總經理曹敏說明，台積公司是全球最大專業積體電路製造服務公司，提供全世界晶圓製造和技術服務，並積極投入半導體產業前瞻技術及創新，持續進行包含設備捐贈、研究合作助攻國家產學發展邁進，尤其工研院長期建構與輔助國家半導體產業技術升級，本次藉由經濟部媒合贈與工研院三套設備包括12吋化學蝕刻設備、疊對量測設備與關鍵尺寸量測設備，將提供臺灣接軌全球實務研發需求。