美歐合作開發半導體PFAS替代品 台廠也積極作為
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依據美歐雙方聯合聲明,雙方計話繼續努力尋找晶片中PFAS使用替代品的研究合作機會。例如計畫探索利用人工智慧能力和數位孿生(Digital Twin)來加速發現合適材料來取代半導體製造中的PFAS。
TSIA先前指出,由於 PFAS 對環境的衝擊及其持久性,愈來愈多國家在思考相關立法。美國 SIA 在美國發起 PFAS Consortium,針對 PFAS 在半導體製程中的使用及其重要性、潛在的排放途徑、以及若限制 PFAS 使用可 能造成的衝擊進行研究,相關論文均可在 www.spoomendonductors.org/pfas 上找到。
此外,美國 SIA 提出的 PFAS 自願協議草案,計劃開發計算 PFAS 使用和 排放的通用方法,承諾減少 PFAS 排放並分享有關 PFAS 減量的資訊。工作小組原則同意繼續討論該協議草案。 工作小組先前承諾在 2025 年消除微影中使用的 全氟辛酸(Perfluorooctanoic Acid, PFOA)。所有協會均確認在 2023 年已不再使用。工作小組將在2024 年 5 月的聯合聲明中公佈這項成就,並由美國 SIA 草擬 WSC 致《斯德哥爾摩公約》信函, 宣布 WSC 已停止 PFOA 的使用。
回顧先前外電報導歐盟擬嚴管PFAS相關化學品,對於該議題,半導體級材料服務商華立、崇越已分別指出估計影響有限。崇越指出,PFAS對公司影響不大,另外已有開發替代PFAS的產品。
華立也說,華立銷售的化學品未含有此成份,若未來客戶也來關心此議題,就會逐一請供應商提供所有品項的成份表。
台積電先前也早在2018年對外宣布公司全面替代全氟辛酸相關物質,應對長鏈PFAS中的全氟辛酸(Perfluorooctanoic Acid, PFOA)積極推行PFOA相關物質替代計畫,順利於民國107年第二季完成所有替代化學品驗證,並計畫該年度年底前全面替代所有廠區的PFOA相關物質。當時台積電在ESG電子報也指出,目前世界各國包括台灣在內均已立法管制PFOS、PFOA及其相關物質,台積公司亦採取積極防範作為。