台積電:首創空汙快篩即時感測儀 1分鐘取得氣體數據
台積電統計,截至民國113年4月,已導入晶圓二廠、晶圓五廠、晶圓十五A廠、晶圓十八A廠、晶圓十八B廠,精進空汙防制效益並友善環境。
台積電指出,公司過往以人工採樣分析方式進行全廠煙道檢測、排放溯源調查及現址式處理設備效能驗證作業,為更有效掌握煙道汙染狀況及改善成效,民國112年1月開發空汙快篩即時感測儀,將交變電流共振固體與氣體感測技術應用於製作酸鹼排氣即時感測器,自主設計特殊電極結構,當氣體與電極接觸時,可藉由交流電感測特定共振訊號與強度變化,達到快速辨識汙染源類別及濃度的效果。
此外,不同於人工採樣僅能呈現單一時間點的非即時數據,空汙快篩即時感測儀可同步對接廠務監控及數據收集系統,以即時(Real time)、原位(In situ)、連續式(Continuously)監測與圖表形式呈現數據趨勢,除更快發現異常汙染源並進行溯源追蹤,還能依煙道排放氣體的物種及濃度,評估投入中央式處理設備的藥劑最適量,精準調整酸鹼值、導電度並控制清洗水量,不僅優化處理程序、妥善運用藥劑資源,亦降低現場作業人員採樣暴露酸鹼氣體的風險。
台積電強調,秉持零排放的綠色願景,台積公司除持續進行晶圓三廠、晶圓六廠、晶圓十二廠第1期、第7期及第8期廠區的空汙快篩即時感測儀裝設作業外,預計民國115年導入所有台灣與海外廠區;同時評估監測氯氣、含氟化物、氮氧化物等氣體的可行性與效益,以及將感測儀應用於空品車周界監測分析,致力落實空汙減量,為台積公司友善環境、永續經營理念貢獻一份心力。