реклама
Освоить техпроцесс Intel 14A в условиях массового производства одноимённая компания рассчитывает не ранее 2027 года, а пока она завершила монтаж первого литографического сканера ASML с высоким значением числовой апертуры, который будет в ближайшие пару лет использоваться для экспериментов в исследовательском центре компании в Орегоне, включая попытки применить так называемую технологию High-NA в рамках техпроцесса Intel 18A. О завершении монтажа сканера Twinscan EXE:5000 компанией Intel поведал ресурс Tom's Hardware.
реклама
Аналогичную систему у себя в Нидерландах компания ASML настроила и запустила ещё в феврале, получив первые результаты пробной печати линий на поверхности кремниевой пластины с плотностью 10 нм. Формально, Twinscan EXE:5000 позволяет уменьшить геометрические размеры элементов на кремниевой пластине в 1,7 раза, а плотность размещения транзисторов поднять в 2,9 раза по сравнению с обычным EUV-оборудованием.
Когда Intel сможет запустить этот сканер в своём исследовательском центре и приступить к пробной печати, не уточняется, но подобные процедуры могут занимать несколько месяцев. Считается, что таким сканером, помимо самой ASML и Intel, в скором времени будет располагать только бельгийская Imec, но нидерландский производитель утверждает, что уже получил заказы на 10 или 20 таких литографических систем. Стоимость каждой превышает $400 млн, поэтому Intel собирается при помощи Twinscan EXE:5000 обрабатывать лишь некоторые слои своих чипов, которые будут выпускаться по технологии Intel 14A.