Polierwerkzeug vorbestimmt wird,; und • Herstellen einer geschliffenen und/oder polierten planen Fläche des Werkstücks; 

dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück oder der Werkstückhalter mit dem Rahmen ein Loslager bildet, wobeiderWerkstückhalterbeweglich in derÖffnung des Rahmens enthalten ist und Verdrehungen des Werk- stücks oder des Werkstückhalters mit dem mindestens einen Werkstück, insbesondere aus der horizontalen Auflageebene der Werkstücke heraus, vermieden wer- den. 

[0039] Für das erfindungsgemäße Verfahren gelten die bevorzugten Ausgestaltungen und Vorteile der erfin- dungsgemäßen Vorrichtung gleichermaßen, sodass auf das oben gesagte verwiesen wird. 

[0040] DaserfindungsgemäßeVerfahrenistinsbeson- dere dadurch gekennzeichnet, dass der zur Ausführung des Schleif- und/oder Poliervorgangs benötigte Druck durch das Werkstückgewicht selbst, direkt durch den Werkstückhalter, und optional, ein auf dem Werkstück und/oder Werkstückhalter ggf. mit Tragkörper für meh- rere Werkstücke aufgebrachtes Gewicht ausgeübt wird, wobei dieses aufgebrachte Gewicht nicht mit dem Rah- men in Berührung kommt. Diese Ausgestaltung unter- stütztzusätzlich die BeweglichkeitdesWerkstückhalters in dem Rahmen und die Vermeidung der Übertragung unerwünschter Bewegungen des Rahmens auf den Werkstückhalter. 

[0041] In einer weiteren Ausführungsform der Erfin- dung ist das Verfahren dadurch gekennzeichnet, dass über den Rahmen der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Bewegung des Werkstücks oder des Werkstückhal- ters mit dem Werkstück in genau vordefinierten Bahnen ausgeführt wird. 

[0042] Ein weiterer Vorteil der Erfindung liegt darin, dass sowohldie erfindungsgemäßeVorrichtung als auch das erfindungsgemäße Verfahren für das Schleif und/oder Polieren der verschiedensten Werkstoffe, aus denen optische Strukturen üblicherweise bestehen, wie Gläsereinschließlich Quarzglas, Polymere und Silicium, daneben einige Kristalle wie LiNbO$_{3}$ sowie GaAs und GaP, geeignet sind. Das erfindungsgemäße Verfahren istgrundsätzlichfürdasSchleifen und/oderPolieren jeg- licher Art von Werkstoffen geeignet, die einer mechani- schen Oberflächenbearbeitung zugänglich sind. 

[0043] Üblicherweise werden fürdenSchleif-und/oder Poliervorgang optischer Strukturen mech ani und/oder chemische Poliermittel eingesetzt. Derartige Poliermittel sind dem Fachmann bekannt und sind nicht Gegenstand der vorliegenden Erfindung. Grundsätzlich sind alleSchleifmittelund Poliermittel,diefürdasSchlei- fen oderPolieren optischerStrukturen geeignetsind, mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung und in dem erfin- dungsgemäßen Verfahren verwendbar. 

[0044] Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung und dem erfindungsgemäßen Verfahren werden bevorzugt Mikro-Planoptiken und Planoptiken sowie Planflächen 

an andersartigen Optiken und Teilen (z.B. auch an Lin- sen oder technischen Metall- oder Keramikteilen) bereit- gestellt, deren Oberflächengüte eine neue, bisher nicht gekannte Qualität erreichen. Die Erfindung betrifft des- halb in einerweiteren AusführungsformPlanoptiken,Lin- sen mit einer Planfläche, Wafer, beliebig andersartige Glas-, Metall-, Kunststoff- oder Keramikteile mit mindes- tenseinerplanen Fläche,die mitdererfindungsgemäßen Vorrichtung bzw.mitdemerfindungsgemäßen Verfahren hergestellt worden sind. 

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[0045] Die Erfindung stellteine vorteilhafte Vorrichtung und ein vorteilhaftes Verfahren für das Schleifen und/oder Polieren von planen Flächen, die eine hohe Präzision erfordern, bereit, die auf einer einzigartigen Konstruktion für die Werkstückanbindung über einen Rahmen und einen speziellen Werkstückhalter sowie speziellen Bewegungsabläufen basiert. Mit dem erfin- dungsgemäßen Verfahren und der erfindungsgemäßen Vorrichtung können sehr empfindliche Planoptiken und solche mit hoher Güte und mit sehr hoher Effizienz ge- schliffen und poliert werden. Das erfindungsgemäße Verfahren in Verbindung mit dem entwickelten Rahmen und der Anbindung des Werkstückhalters durch Bildung eines Loslagers eignet sich für die industrielle Fertigung von Präzisions-Planoptiken, die in einem breiten Spek- trum in verschiedensten Anwendungen zum Einsatz kommen.NachaktuellemStand derTechnik werden die- se Optiken im industriellen Bereich entweder mit klassi- schen Maschinen (Hebelpoliermaschinen) oder mit sehr komplexen CNC-Maschinen geschliffenoderpoliert,wo- bei der Nachteil darin besteht, dass unerwünschte Be- wegungen der klassischen Maschinen direkt auf die Schleif- oder Polierwerkzeuge übertragen werden, wo- durch die Qualität der geschliffenen oder polierten Pla- noptiken höchsten Anforderungen nicht genügen kann. Sehr empfindliche Planoptiken werden deshalb oft min- destens teilweise noch händisch poliert. Das neu entwi- ckelte Verfahren kann vorzugsweise mit einem kollabo- rierenden Roboter aus dem Preisbereich von aktuell ca. 

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30.000 Euro durchgeführt werden. Der Investitionsauf- wand ist somit deutlich geringer als bei der aktuell gän- gigen CNC-Technik, wo eine Maschineninvestition häu- fig >150.000 Euro erreicht. Hinzu kommt, dass die Pro- grammierung desBewegungsablaufs amRoboterdurch die komfortablere Steuerung einfacher und bereits nach vergleichsweise übersichtlicher Einweisung und Schu- lung möglich ist. Eine ausgebildete CNC-Fachkraft für die Bedienung des erfindungsgemäßen Roboters ist nicht erforderlich, was beim heutigen Fachkräftemangel in diesen Berufsgruppen sehrvorteilhaftist.ImVergleich zum Schleifen und/oder Polieren mit klassischen Hebel- maschinen liegtein ganz wesentlicherUnterschied in der Bewegungsart und damit in der mechanischen Bean- spruchung der Werkstücke. Mit der neuartigen Nutzung des Roboters ist man hinsichtlich der Gestaltung der Schleif- und/oder Polierbewegungen absolut frei und es können Zyklen mit ganz verschiedenen Bewegungsfor- menumgesetzt werden,was mitden klassischen Hebel- 

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