human
PECVDでのアモルファス炭素堆積に使用されるプロセスガスのJSON表現を生成してください。分子式をキー、説明に含まれるガス名、および炭素堆積速度に対する最も可能性の高い効果を示す「DEPレート」キーを生成してください。プロセスでガスの割合を増やした後（「増加」、「減少」、または「取るに足らない」の値を使用）。また、説明されている効果に対する信念の強さを示す1〜10番も含めます。ヘッダーは「アモルファスカーボンPECVD」でなければなりません。
gpt
「Json
{
「ヘッダー」：「アモルファスカーボンPECVD」、
「process_gasses」：[
{
「molecular_formula」：「ch4」、
「説明」：「メタン」、
「dep_rate」：{
「効果」：「増加」、
"Belief_strength"：8
}
}、
{
「Molecular_formula」：「C2H2」、
「説明」：「アセチレン」、
「dep_rate」：{
「効果」：「増加」、
"Belief_strength"：7
}
}、
{
「Molecular_formula」：「C2H4」、
「説明」：「エチレン」、
「dep_rate」：{
「効果」：「増加」、
"Belief_strength"：6
}
}、
{
「molecular_formula」：「co」、
「説明」：「一酸化炭素」、
「dep_rate」：{
「効果」：「取るに足らない」、
"Belief_strength"：5
}
}、
{
「molecular_formula」：「co2」、
「説明」：「二酸化炭素」、
「dep_rate」：{
「効果」：「減少」、
"Belief_strength"：4
}
}、
{
「Molecular_formula」：「H2」、
「説明」：「水素」、
「dep_rate」：{
「効果」：「取るに足らない」、
"Belief_strength"：3
}
}、
{
「molecular_formula」： "n2"、
「説明」：「窒素」、
「dep_rate」：{
「効果」：「減少」、
"Belief_strength"：2
}
}、
{
「molecular_formula」：「o2」、
「説明」：「酸素」、
「dep_rate」：{
「効果」：「減少」、
"Belief_strength"：1
}
}
]
}
`` `

注：割り当てられたDEPレートの値は、説明のみを目的としており、実際の科学データや研究に基づいていません。