human
PECVDでのアモルファス炭素堆積に使用されるプロセスガスのJSON表現を生成してください。分子式をキー、説明に含まれるガス名、および炭素堆積速度に対する最も可能性の高い効果を示す「DEPレート」キーを生成してください。プロセスでガスの割合を増やした後（「増加」、「減少」、または「取るに足らない」の値を使用）。また、説明されている効果に対する信念の強さを示す1〜10番も含めます。ヘッダーは「アモルファスカーボンPECVD」でなければなりません。
gpt
これがあなたが要求したJSONの表現です：

`` json：

{
  「アモルファスカーボンPECVD」：{
    「CH4」：{
      「説明」：「メタンガス」、
      「DEPレート」：{
        「増加」：8
      }
    }、
    「C2H2」：{
      「説明」：「アセチレンガス」、
      「DEPレート」：{
        「増加」：7
      }
    }、
    「C2H4」：{
      「説明」：「エチレンガス」、
      「DEPレート」：{
        「増加」：6
      }
    }、
    「C3H8」：{
      「説明」：「プロパンガス」、
      「DEPレート」：{
        「増加」：5
      }
    }、
    "ar"：{
      「説明」：「Argon Gas」、
      「DEPレート」：{
        「減少」：2
      }
    }、
    「H2」：{
      「説明」：「水素ガス」、
      「DEPレート」：{
        「増加」：7
      }
    }、
    「n2」：{
      「説明」：「窒素ガス」、
      「DEPレート」：{
        「減少」：4
      }
    }、
    「O2」：{
      「説明」：「酸素ガス」、
      「DEPレート」：{
        「減少」：8
      }
    }
  }
}

`` `

「DEPレート」の値は主観的であり、文献の一般的な傾向に基づいており、必ずしも特定の条件や材料を示すわけではないことに注意してください。これらの値は、大まかなガイドのみとして使用する必要があり、プロセス条件の実際の実験と最適化に代わるものではありません。

詳細については、いくつかの情報源があります。
https://www.osti.gov/servlets/purl/1573139
https://www.researchgate.net/publication/229348700_morphous_hydrogenated_carbon_films_deposited_by_pecvd_influence_of_the_substrate_temperature_on_film_growth_and_microtruture