PECVDでのアモルファス炭素堆積に使用されるプロセスガスのJSON表現を生成してください。分子式をキー、説明に含まれるガス名、および炭素堆積速度に対する最も可能性の高い効果を示す「DEPレート」キーを生成してください。プロセスでガスの割合を増やした後（「増加」、「減少」、または「取るに足らない」の値を使用）。また、説明されている効果に対する信念の強さを示す1〜10番も含めます。ヘッダーは「アモルファスカーボンPECVD」でなければなりません。
Please generate a JSON representation of the process gasses used for amorphous carbon deposition in PECVD, with the molecular formula as the key, the gas name included in the description, and a "dep rate" key indicating the most likely effect on the carbon deposition rate after increasing the proportion of the gas in a process (with values of "increase", "decrease", or "inconsequential"). Also include a number 1-10 indicating the strength of the belief in the effect described. The header should be "amorphous carbon PECVD".