Die Installation der Nebenaggregate erfolgte außerhalb des Reinraums im darunterliegenden Technikraum. Der Förderstrom des Kreisgassystems wird über Sicherheitsfilter zwischen Reinraum und Technikraum getrennt. ###>The auxiliary equipment is installed in a separate technical room outside the clean room. The conveying air of the pneumatic conveying system is separated with safety filters between clean room and technical room.