Durch den tieferen Druckbereich des MEMS-Pirani wird die Kaltkathode später gezündet und somit Sputter-Effekte, die großen Einfluss auf die Lebensdauer haben, vermieden. ###>Due to the deeper pressure range of the MEMS-Pirani, the ignition of the cold cathode starts later and so impurities, which could have an impact on its life-time, are avoided (caused for example by sputter effects).