Excimer kelimesi İngilizce ‘excited dimer’ kelimesinden köken almaktadır. Basınç veya yüksek voltaj ile uyarılmış durumda birbirine bağlı olan biri aktif bir halojen diğeri asal olan iki atomlu molekülü ifade eder. Bu hibrid molekül pikosaniyeler içinde oluşur ve bozulması da aynı sürede gerçekleşir. Bu da çok yüksek enerjili foton emisyonunu sağlar. Lazer kafası kavitesi içerisindeki yarı transparan aynalar (rezonatörler) sayesinde birim hacmindeki tüm gaz atomları bu indüksiyondan etkilenerek zincirleme bir reaksiyon oluşturur ve çok yüksek bir çıkış enerjisi yakalanır. Foton emisyonu elektromagnetik spektrumun ultraviole (UV) bandındadır. Excimer lazerde en çok kullanılan gaz Argon Florur (ArF)’dir. Dalga boyu 193 nm’dir. ArF kombinasyonu yüksek enerjili fotonlar içermesi, komşu dokuya zayıf geçiş ve düşük termal etkisi, düzenli etki yüzeyi, su ile güçlü absorpsiyonu ve mutajen olmaması gibi özellikleri nedeni ile tercih edilmektedir. Diğer gazlar ve dalga boyları şöyledir; Kripton Klorur (KrCl): 222nm, Kripton Florur (KrF): 249nm, Ksenon Florur (XeF): 351nm, Ksenon Klorur (XeCl): 308nm.
Excimer lazerde kullanılan diğer gazlar nelerdir?
Kripton Klorur (KrCl): 222nm, Kripton Florur (KrF): 249nm, Ksenon Florur (XeF): 351nm, Ksenon Klorur (XeCl): 308nm