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PCB両面用プローブステーションのシステム構成品は、自由な組み合わせによりユーザー仕様に合わせてカスタマイズが可能です。アジレント社製ネットワークアナライザーとPCB両面用プローブステーションをセットでご購入の場合は、特別セット価格でご提供いたします。また、構成品単体でのご購入も可能です。各構成品の詳細な仕様に関しては詳細ページをご覧いただくか、弊社までお問合せください。
本体寸法と重量
その他オプション
プローブ移動が自在に
ツマミを動かすとY軸ステージがスライド
ポジショナーを取り外すことなく、裏側・表裏 測定の時にプローブを反転させる機構です。プローブ表裏校正のためのCAL基板取り付けプレートが 180度表裏回転する機構が備わっています。
プローブ角度が自由自在
AET独自の稼働回転式プローブ取付金具の採用により、プローブ先端の 位置を変えずに角度を調整することができます。
別置き真空ポンプ
*1:標準数量以上はオプション
[ ワークステージ ] ステージ固定台:同一スライドガイド上の左右に各1個
測定方向により、反転して用いる。
0〜90度で任意の位置で固定可能
プローブあおり角
±5度(被測定物面とプローブ針との平行度調整角度)
機能詳細お問い合わせ下さい。
(ベース面からの高さ)
弊社はアジレント・テクノロジ社と
チャンネルパートナー契約を締結しています。lZlPROBEはカスケード・マイクロテック社の登録商標です。株式会社エーイーティーは、カスケード・マイクロテック株式会社のビジネスパートナーです。
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エーイーティーでは世界のトップメーカーから高性能なマイクロ波ケーブルを輸入し、国内でアセンブリを行うことで、お客様のニーズにあったケーブルを短納期、低コストでご提供しています。エーイーティーが取り扱うマイクロ波ケーブルの中でも、特に多層PTFEを絶縁材料としたフレキシブル同軸ケーブルは、低損失で、高い位相安定度を誇る高品質の高周波ケーブルです。その信頼性は高く評価され、世界の通信衛星、航空機器、精密な計測機器などに広く使われています。
ケーブルアセンブリ時の標準VSWR
納期・価格はお問い合わせください ■見積り依頼フォーム→(PDF)
60GHzまで対応のフレキシブルケーブル
多層PTFEを絶縁材料として用い、低損失で耐久性・耐熱性に 優れる。
高い位相安定性を確保
・曲げ半径5cmでケーブルを360°曲げた場合でも位相変化は±0
5mmのコネクタ を常備し、国内でアセンブリすることで短納期を実現
の最大周波数
適合するコネクタタイプ
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)の大電力サーキュレータやダミーロードは、レーダや通信装置のみならず医療用・研究用の加速器、高周波加熱の分野で数多く応用されています。
製品の周波数は0
FCI社(米国)は、フェライトを使った高周波大電力用サーキュレータ、アイソレータ、スイッチのメーカーです。
4ポート差動位相型サーキュレータの周波数は0
レーダー・通信装置・加速器・高周波加熱のみならず医療用・研究用に利用されています。各周波数帯における最大電力レベルでの仕様が、下表に表示されていますのでご参照ください。さらに高い電力レベル、もしくは低い電力レベルの製品も製造可能です。
3ポートサーキュレータの周波数は0
レーダー・通信装置・加速器・高周波加熱のみならず医療用・研究用などに利用されています。各周波数帯における最大電力レベルでの仕様が、下表に表示されていますのでご参照ください。さらに高い電力レベル、もしくは低い電力レベルの製品も製造可能です。FCI社のセラミック吸収体を使用した高周波大電力用ダミーロードには、フィン付きとフィン無しタイプがあります。フィン付は、放熱効率が高くなるように設計されており、より高い電力で使用することができます。各周波数帯における最大電力レベルでの仕様が、下表に表示されていますのでご参照ください。さらに高い電力レベル、もしくは低い電力レベルの製品も製造可能です。
【フィン付き】
※上記の寸法にはフランジは含まれません。
【フィン無し】
※上記の寸法にはフランジのタイプにより変わります。
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高平均電力にも耐えられる堅牢設計
高電力伝送路の構成部品に、加速器およびレーダー装置にと自由にカスタム化してご活用いただけます。
高電力にも耐える堅牢設計
周波数範囲はユーザ指定で製作可能
圧縮空気(@30psig)でピーク電力を評価 (ピーク電力の評価はパルス長の影響を受けます)
真空窓および導波管フランジのサイズはカスタマイズ可能
真空窓はマルチパクタ抑止コーティングを施工
設計は自由にカスタマイズ可能
ユーザの仕様に合わせて自由設計
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アンテネッサ社(Antennessa)が提供する、SAR評価システムには、SARロボット、デバイス位置決めシステム、走査装置、ファントム、校正プローブが含まれています。ヨーロッパのみならず、世界の通信、自動車、放送業界で利用されています。本SAR 評価システム*は、携帯電話の 開発プロセスの全段階に適合します。
SAR試験および開発に最適
製造後の試験
カスタマイズ可能なアクセサリ
プローブと液剤校正キット、ファントムとダイポール
com アンテネッサ社(フランス)は、80MHz〜76GHzのカスタマイズアンテナの設計・製造メーカーですが、センサーに関する独自知識を活用し、SAR評価システムを開発
SAR評価システムの主なアプリケーション
携帯電話の評価
基地局の測定
補助アクセサリは仕様に応じてカス タマイズ可能です。
強化直立ファントム(肩付き、肩なし)
標準もしくはカスタマイズ
本ファントムは規格で定められる ように3D CAD データで製造され、順守証明書が添付されます。ファントムの材料はポリウレタンで、人体組織と類似した誘電特性を持ちます。026 以下の損失正接を持つ、低誘電率で低損失な材料です。
携帯電話の位置決めのための参照点
SAM ファントムは位置決めが容易に再現できるように設計されています。
走査システムは左耳、右耳、 口の中心点でファントムに関連付けられます(CAD ファイルで指定)
首と正面の間だけでなく、耳の 参照点と口の間も表わした垂直な断面図が外側のシェル上に表示されます。携帯電話の音響出力の中 心が断面上に正確に位置決めできるように、垂直断面図がデバイスの位置決めを容易に助けてくれま す。
走査システムの位置決めと校正のための参照点
SAM ファントムは6 軸のロボットを正確に位置決めできるように、シェルの表面にCAD にリンクした 5 つの追加参照点を持っています。また、シェルの平坦な部分に中心参照点を1 つ持ち、校正のための ダイポールの位置決めをします。
シェルの厚みと材料の抵抗特性
2mm の許 容差でシェル全体に一定の厚みを保証します。
材料は均質で左右の頭部下にはガラス繊維は含まれま せん
低損失な耳のスペーサーは、耳の参照点において±0
2mm 以内の許容差で組織の境界から 6mm の隙間があります。
容易な操作性
SAM ファントムは4 つの穴をねじ止めすることで簡単にテーブルに固定できます。シェルの中身は栓で簡単に抜くこと ができます。
品質管理と保証
各ファントムは異なる25 の点で検査され、その検 査方法は10μm の精度で厚さを測ることができる超音波システムに基づいています。Antennessa 社 では、ファントムを10 体生産すると、ファントムの形状上の厚みをセンチメートル毎にチェックす るという国際的な破壊検査を実際に行っています。本SAM ファントムは1 年間保証されています。プローブは、IEEEおよびCENELEC規格に準拠した評価液剤中の電界を測定し、 プローブ内の非結合ダイポールにより携帯電話のSAR算定に必要な等方性、広帯域性が測定されます。
ダイポールの抵抗(コネクタ面)
人体等価液剤の軸等方性
人体の等価液剤の半球等方性
ダイポールの長さ
プローブ先端の外径
ダイポールとプローブ先端までの長さ
また、IEEE基準のダイポール にも互換性があります。本システムは非常に安 定した材料でつくられており、容易な操作性と 再現可能な位置決めを保証します。本システムはdelrin(デルリン:高剛性樹脂)でつくられてい ます。
材料特性は3
本システムの位置決め分解能は、1mm以下です。システムはX軸方向に動くボトムレールで固定されているの で、ファントムの右部分から左部分へデバイスを簡単に移動させることができます。
また、Y軸の垂直方向への 移動とZ軸方向での高さ調節も可能です(次ページ図参照)
本システムは3つの回転ポイントを持ち、デバイス からの音響出力の正確な位置決めが可能です。
位置決め分解能
正確に再現可能な位置決め
システム上部のカーブしたレールでほおから 傾斜の位置まですばやく移動ができます。傾 斜の位置決めに必要な15°の角度は、レール 上の目盛りによって±1°の許容差で簡単に確 認することができます。ポインタ付きツールによっても容易に正確な位置決めが可能です。カーブしたレールより上 の部分はしっかりと固定されるので、最後に角度、X軸、Y軸、Z軸で調整するだけです。この 方法によりファントムの断面上にある携帯電話の音響出力の位置決めが容易になります。
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RF 電子銃はマイクロ波電力を用いて電子の発生と加速を同時に高電界で行う装置です。エーイーティーでは熱陰極⁄光陰極RF電子銃、三極管構造のRF電子銃、及び同軸共振器を使ったマイクロミニチュア RF 電子銃などの開発・研究を行っています。三極管型RF 電子銃は、バックボンバードメント現象を無くし、 電子ビームのエミッタンスを低減させ、同時にパルス幅の制御を可能にする画期的な製品です。また、新型の 直径5mmのマイクロミニチュアRF電子銃は、医療用・工業用の電子源やX 線源としての応用が可能です。
RF電子銃の主な仕様
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)のディスペンサ型カソードは、多こう質タングステンに酸化バリウムが内部まで含浸されており、非常に長寿命です。本カソードは電子源として使用されるだけでなく、電子ビームリソグラフィーや加速器としても利用されています。以下の仕様は全型のカソードについて選択可能です。
放出強化コーティング剤と含浸剤有り
ヒートウェーブ社(米国)は、電子銃、カソード、イオン源、ヒーターなどの製造メーカーです。
取付け用フランジ
ヒーターリード1本(内部で蝋付け)
半球面もしくはマイクロチップで設計可能
フランジ付カソードのサイズはTB-176を参照
60Aのパルス電子電流
プラズマに応用
60Aのパルス電子電流
プラズマに応用
平面もしくは半球面で設計
電界放出電流の範囲:連続DCモードで5mA以下
電界放出電流の透過効率:80%以下
外部にヒーターやシールド、留め金付きも製造可能
プラズマの増加や中和用に応用
多様なチップ有り(オプション)
形状: 平面型および変形型
グリッド加工: エッチング加工およびメッシュ加工
その他の材料またコーティングも可能
電子放出する材料やコーティングは不可能
様々な透過性をもつモリブデン材料の在庫あり
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)の電子銃は、各種の電子管・マイクロ波管を始め、加速器・プラズマ装置・CRT等に広く応用されています。カソード材としては主に含浸型タングステンカソードが使われ、電流密度が非常に高くエミッタンスの低い良質の電子ビームを提供しています。
マイクロアンペアからキロアンペア
グリッドエレメントと集束エレメント
クロスフェードもしくは、溶接フランジ
ヒートウェーブ社(米国)は、電子銃、カソード、イオン源、ヒーターなどの製造メーカーです。* 実際値は陽極とシステム構成に影響を受けやすいです。**カソードの寿命は最適条件下での理論上の寿命です。
ビームを遮断するためのカソードには最大-1000V
電子衝撃による加熱タングステン2kの場合7mA、4Vの場合フィラメント約1
電磁界入れ替え可能
2本のピンフィードスルーでカソードとヒーターもしくはヒーターとヒーターを接続
カソードの直径サイズおよびグリッドの透過性はユーザにより選択可能
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)のイオン源はイオン銃・イオンレ−ザ−・プラズマ装置・加速器・スペクトロスコピー・核物理・表面処理等の製品、実験、研究に世界中で使われています。これらは主に多こう質タングステンの中に各種イオンを含浸し、フィラメントを通して加熱し、負の電場をかける事で、イオンを取り出すことができます。以下の仕様は全型のイオン源について選択可能です。以下の元素は全型のイオン源に選択可能です。ヒートウェーブ社(米国)は、電子銃、カソード、イオン源、ヒーターなどの製造メーカーです。
レニウム製取り付け用支柱
イオンタイプ: Cesium、他のアルカリ性イオンタイプも可能
真空チェンバや真空器具の中に取り付けられるように設計
出口開口部から2
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X-Y-Z軸の3方向からの位置決めにプラスして、前面のシーター軸が回転することにより高確度な位置決めを保証します。前後、左右および上下方向の位置決めは、X-Y-Z軸のマイクロメーターで微調節します。微妙なプローブ先端の平行調整には、シーター軸ステージを粗調整した後、シーター軸微動マイクロメーターにより±3°の角度で微調節することができます。4箇所からの絶妙な位置合わせにより、わずかなズレも許されない測定条件にもしっかりと対応できます。マイクロポジショーナーは、エアコプレーナー、マルチニードルタイプのプローブに対応できるように2種類のタイプをご用意しています。各種マイクロポジショナーおよびプローブの詳細についてはお問い合わせください。
5mmで微調整が可能
強力磁石ON/OFF切り替えレバーでマイクロポジショナーとポジショナ ーテーブルを確実に固定、また簡単に着脱可能
プローブ固定金具は容易に着脱でき、様々なタイプのプローブを装着でき るようにカスタムメイド可能
DC回路測定、高周波回路測定などに活用
先端部を交換すればマニピュレータとして理化学的な実験にも応用可能
切り替えレバー有無
※本製品の使用及び外観は、改良のため、予告なく変更する場合があります。ご発注の際には営業窓口ご確認ください。※本製品の仕様書を断りなく複写することは禁じます。
マイクロポジショナー |-X-Y-Z軸+シータ軸でわずかなズレも補正可能
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長寿命(アルミニウム・金のパッドに対して100 万回レベル)
独立したプローブ先端部構造により、最大50μm のパッド段差を吸収
オーバートラベル200μmまでの耐久性
完全な空気絶縁構造によって、最小の挿入損失と最大の反射損失を達成
アルミニウム及び金パッド上で、低い接触抵抗と測定精度を達成
高周波プローブカードに対応
低価格を実現
カスケード・マイクロテック社製の高周波プローブlZl Probeは、DC〜50GHzの範囲で低損失、高再現性、高耐久性を実現したプローブです。それぞれのプローブが独立した長いコンタクトスプリングを持ち、最大50μmのパッドの段差にも対応し、DUTとの安定したコンタクトが可能です。ウェハおよびパッケージレベルで遠距離通信デバイスや、車載高速デバイス用のレシーバ、トランスミッタなどを高精度に測定します。※株式会社エーイーティーは、カスケード・マイクロテック株式会社のビジネスパートナーです。※ スペックの詳細、特注のピッチやフットプリントはお問い合わせください。
35コンタクトまで
7コンタクトまで
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誘電率をもっとよく知るためのQ&A
高周波用途に誘電率を応用する。
材料のもつ誘電率は、信号が伝搬する速度に影響を及ぼすでしょうか
回路基板を加工する前後で、回路基板自体のもつ誘電率は変化しますか
高周波回路に適した高分子材料の特性とはどのようなものですか
高周波用高分子材料の開発で気をつけることはなんですか
アンテナ用途に適した誘電特性とはどのようなものですか
マイクロ波加熱と誘電率の関係について教えてください。
誘電率測定の一般的な基礎知識
誘電率(複素誘電率)とは何ですか
誘電率のもつ波長短縮効果について簡単に説明してください。
また、その効果はどのように利用されていますか
一般的に誘電率測定の手法にはどのようなものがありますか
また、それらの手法の特徴を教えてください。
一般的な誘電率測定における問題点は何ですか
共振器法に用いられる共振について教えてください。共振と誘電率の関係について教えてください。
AETが提供する誘電率測定について
従来の測定法とAETの共振器法による測定方法には違いがありますか
AETが販売する同軸共振器は特許を取得しているそうですが、その測定方法と測定原理について教えてください。AETが販売する測定装置の特長を教えてください。エバネッセント波について教えてください。Q値について教えてください。AETが行っている測定サービスの特長を教えてください。高周波用途に誘電率を応用する。
材料のもつ誘電率は、信号が伝搬する速度に影響を及ぼすでしょうか
材料の持つ誘電率は、信号の伝搬速度と関係があります。信号の伝搬速度を速くするには、伝搬距離と信号の伝搬遅延時間を短縮させることが重要です。信号伝搬遅延時間(Td)は、次式で与えられます。
比誘電率:材料の誘電率/真空中の誘電率
この式から信号の遅延は材料の比誘電率と密接に関係し、遅延時間の低減には材料の低誘電率化が不可欠となります。
例えば、汎用的な基板材料であるガラスエポキシ(εr=4
8)と高周波用基板材料である低誘電率ポリイミド(εr =3
5)を比較した場合、信号遅延時間はガラスエポキシが1
17倍も大きくなります。
(参照:「高周波用高分子材料の開発と応用」※1)
回路基板を加工する前後で、回路基板自体のもつ誘電率は変化しますか
下図は、ガラスクロスの基板に樹脂を浸透させた例です。樹脂を浸透させる前のガラスクロス単体の誘電率はおよそ5〜6で、樹脂単体の誘電率はおよそ3ですが、樹脂を浸透させた後の回路基板の誘電率は全体的に低くなってしまいます。また樹脂の浸透程度が場所により不均一な場合、誘電特性も不均一になってしまいます。誘電体セラミックスの場合も同様に、焼結条件のわずかな違いにより誘電特性が異なります。現代の基板は様々な複合材料で構成されているので、最終的な材料の誘電率を正確に把握し、正しいデータを取得した品質管理が重要になります。
高周波回路に適した高分子材料の特性とはどのようなものですか
比誘電率の波長短縮効果により、誘電体内の電磁波の速度は空気中に対してに減少し、従って波長もに縮小して、立体回路などの寸法が小さくなりますが、その反面、誘電体の電磁波吸収により損失が生じます。とくにεrが大きくtanδの小さい物質が最適ですが、それにはなるべく非極性に近い物質構造が必要です。一般に高分子材料は極性の強いものが多いですが、これらは高損失です。一般にεrが大きい物質はtanδも大きい傾向にあります。
下図には、主要な物質の2
45GHzおよび950MHzのマイクロ波帯における誘電率と損失角正接の測定値が示されていますが、この周波数領域では比誘電率はほとんど変化しませんが、tanδは変化が大きいことがわかります。
2種類のマイクロ波におけるεrとtanδの変化 (「高周波用高分子材料の開発と応用」※1より抜粋)
高周波損失はε”に比例するので、高周波回路にはε”またはtanδの小さい物質が適しています。上表で見られるように、テフロン、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレンなどは誘電率は低いですが損失も少ないです。これに対してナイロンなどは同じくらいの誘電率ですが、ε”が大きく高周波損失の大きいことが示されています。以上のように高分子材料はその種類によりεrとtanδが異なるので、使用する目的によって誘電率の測定を行い、その種類を決めなければなりません。また、誘電率は周波数により変化するので、測定は目的とする周波数において行う必要があります。
高周波回路用高分子材料の開発で気をつけることはなんですか
高分子材料を高周波用途に適用しようとする場合、高分子中に含まれる微量な不純物や添加剤が誘電正接を大きくする原因となります。また、微量成分そのものだけでなく、微量成分が樹脂の吸湿を増加させる場合も、比誘電率や誘電正接は吸収した水の影響により大きく増大します。機械的強度や耐熱性を改良するため、ガラス繊維や無機フィラーを充填する場合あるいは難燃剤を添加する場合においても、強化 材、充填材、難燃剤のみでなくサイジング剤やカップリング剤等の加工助剤に対しても十分に注意する必要があります。すなわち、高周波用の材料開発では、樹脂自体の誘電特性を最初に評価した後、開発の過程での誘電特性の変化を十分に把握する必要があ ります。
アンテナ用途に適した誘電特性とはどのようなものですか
携帯機器などに内蔵されるアンテナは小型化が求められており、そのため波長短縮効果から、高い誘電率を持つ誘電体が採用されます。また、アンテナの放射効率を高める為に誘電損失が低い誘電体が望まれます。誘電体の誘電率にばらつきがあると、アンテナの共振周波数がばらつくことに繋がるため、一定の誘電特性をコントロールする技術が必要とされています。マイクロ波加熱と誘電率の関係について教えてください。電子レンジを代表とするマイクロ波加熱は、加熱対象の誘電損失による発熱を利用しています。また、誘電率による電磁波の反射・屈折・波長短縮の効果が、マイクロ波の分布に影響します。そのため、特に工業用途で効率的で均一なマイクロ波加熱を行う場合には、加熱対象及び周囲物質の誘電特性の把握が重要な要素となります。
※1 「高周波用高分子材料の開発と応用」シーエムシー出版 馬場文明/監修
誘電率測定の一般的な基礎知識
誘電率(複素誘電率)とは何ですか
誘電率とは、材料の電気特性パラメータで、材料中を伝搬する電磁波の波長短縮効果を示す値です。誘電率のもつ波長短縮効果について簡単に説明してください。
また、その効果はどのように利用されていますか
図は通話中の携帯電話から発せられる電磁波が人体頭部に伝搬している様子です。人体組織は比較的高い誘電率を持っているので、頭部内部に伝搬した電磁波の波長は短縮され、波が細かくなります。また、誘電率の虚数項である誘電損失の数値で材料中の電磁波が減衰する程度が分かります。これが誘電率のもつ波長短縮効果です。この波長短縮効果は、アンテナの小型化に利用されています。高誘電体材料を用いるとアンテナの小型化・高密度化が可能になります。一方、回路基板を流れる電気信号は、基板材料が持つ誘電率、誘電損失などの影響で、信号の反射、遅延の原因となります。よって基板の高周波化、高速化の要求には低誘電体が用いられています。このように条件にあった誘電率を知っておくことが重要になります。
一般的に誘電率測定の手法にはどのようなものがありますか
また、それらの手法の特徴を教えてください。一般的に高周波帯域における誘電率測定は、試料を含む測定系の入出力特性を測定して、得られた結果から誘電率特性を導出します。
誘電率の測定対象は多種多様な材料が対象になることに加え、測定周波数の範囲が広帯域にわたるため、これまで様々な測定手法が考案されてきました(測定方法と特徴、周波数帯は下記の図を参照)
コンデンサを形成する方法
GHz帯の高周波では不向き
ストリップ線路・同軸線路等の伝送線路の一部/全体に被測定物を設置して反射、透過を測定する方法
伝送線路の接続部の誤差要因を扱う必要がある。
自由空間に置かれた被測定物へ電波を当てて反射を測定する方法
波長の小さい高周波(ミリ波)帯域で有効
装置が大掛かりとなりやすい。
空洞共振器などの共振器を用い、微小な被測定対象による共振の変化を基にして測定する方法
被測定物の扱いや、共振器測定の知識など専門的な知識を必要とする。
プローブまたは微小開口型の共振器あるいは伝送線路を使用して微小変化を測定する方法
非破壊で局所的な誘電率の測定が可能
近接場の分布を精度良く扱う必要がある。
(光領域まで可能)
その中でも大きく分けて反射/透過を利用する手法と、共振現象を利用する手法が主に用いられています。
一般的に反射/透過を利用する手法は、広帯域の連続した誘電特性を求められるというメリットがありますが、測定系のノイズの影響を受けやすいというデメリットもあります(特に高周波域で顕著)
一方、共振を利用する手法は、単一の周波数の誘電特性を求める方法です。共振条件の相対的な変化で測定しますので、ノイズの影響を受けにくく、精度の高い測定ができます。
(マイクロ波帯での測定を例に)
AETの販売する誘電率測定装置は、共振器法、近接場法を利用しています。また、測定サービスでは共振器法、同軸反射法、容量法、近接場法での測定も可能です。材料の特徴により最適な測定を選択します。
一般的な誘電率測定における問題点は何ですか
破壊測定のため試料の加工が必要
ネットワークアナライザなどの高価な測定装置が必要、またその取り扱い経験も必要
試料の物理的な性質が要因となり測定誤差が発生
物理的要因とは試料を加工する際の精度、多層構造・混合体などの複合材料が有する組成の不均一性、試料がもつ誘電特性の特徴(例えば異方性など)、温度による依存性、時間による試料の変化などがあげられます。
測定装置や測定環境が要因となり測定誤差が発生
例えば、測定装置や測定ケーブルなどの品質です。装置や部品による信号の再現能力や安定性、ノイズの量などが影響し、誤差が生じます。品質だけでなく、ケーブルの接続状態が悪いとインピーダンスが不連続になってしまうことがあります。また近傍の環境からの外来ノイズ、温度や湿度などの外的環境も誤差発生の要因にあげられます。
誘電率導出の過程における計算方法が要因となり測定誤差が発生
・導出過程における近似要素の有無
・近似が妥当な仮定条件
・電磁界解析技術の利用の有無
・数値解析自身の解析誤差
高周波に関する知識が必要
測定装置の設定や校正作業に関する経験、アクセサリの取り扱い、試料の設置に関する経験、測定結果の読み取りに関する経験などの一般的な高周波測定や理論に関する理解が必要になります。主に以上のような理由から誘電率測定は難しいというイメージが強く、一部の研究所や大学のみで行われてきました。共振器法に用いられる共振について教えてください。共振とは、振動体の固有振動数に等しい振動が外部からその振動体に連続的に作用すると、振動の振幅がきわめて大きくなる。
この現象を共振という(参照:三省堂物理小事典※2)
共振周波数とは、共振回路に特定の周波数の電圧を加え、共振状態となった時の周波数(参照:電波辞典※3)
下の図は、1次元、2次元、3次元での共振状態です。1次元の図は縄跳びの縄が両端で固定されているのをイメージしてください。振動体が一定の境界条件におかれると固有振動数(共振周波数)を持つようになります。固有振動とは、物体を自由に振動させた際に検出される特定の振動のことです。2次元の図の四角が振動体の構造条件(境界条件)となり、それに一致した周波数の振動が与えられると振動(共振)が起こり、屈曲振動を引き起こし、その振動体が激しく振動するようになります。共振と誘電率の関係について教えてください。同一の空間内に誘電体を挿入すると、その誘電体がもつ誘電率によって電磁波長が短縮されます。波長が短縮されると真空換算された実効的な空間サイズが増加することになり、構造体の共振周波数が低下します。誘電体が挿入される前と後で共振周波数がどれくらい変化したかを測定することで誘電率を算出できます。
AETが提供する誘電率測定について
従来の測定法とAETの共振器法による測定方法には違いがありますか
測定共振器の設計が異なる。従来の測定方法で用いられている共振器は、円筒形などの単純な幾何形状の共振器です。これは限られたスペースの中に試料を挿入しなければならないので、試料の加工が必要になったり、測定できる試料の形態、形状などに制約があります。一方、AETが開発した同軸タイプの共振器は3次元電磁界解析を用いて設計された自由度の高い共振器です。共振器の上に試料を設置して測定するので、10mm×10mmの平滑な面が一つでもあれば試料の形状は任意です。(但し、AET開発の空洞共振器は試料の加工が必要です。複素誘電率の導出方法が異なる。従来の複素誘電率の導出方法は、測定試料による共振場の変化分を無視した摂動理論に基づいた算出方法です。一方、AETの複素誘電率の導出方法は、3次元電磁界解析を活用した算出方法で、共振場の相対的な変化から複素誘電率を算出します。この方法は、3次元電磁界解析ソフトウェア「MW STUDIO」を用いて、試料を含めた共振器全体の共振状態を高精度に求めることができ、従来の摂動理論に基づいた方法に比べ、かなり精度の高い測定方法を確立しています。AETが販売する同軸共振器は特許を取得しているそうですが、その測定方法と測定原理について教えてください。
プローブ長さL に対してとなる波長 λ に相当する周波数において共振するように、三次元電磁界解析ウェアMW STUDIOを用いてプローブを設計
同軸共振器プローブ先端部から漏れる共振電場(エバネッセント波)が先端部に設置された測定サンプルに浸潤することで、共振器全体の共振特性測定(共振周波数、Q値)がサンプルの複素誘電率に応じて変化します。この変化を測定することで誘電率、tanδを算出します。
誘電率をもっとよく知るためのQ&A |-高周波用途に誘電率を応用する |-誘電率測定の一般的な基礎知識 |-AETが提供する誘電率測定について
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同軸共振器法による誘電率測定装置
−高周波のノウハウを最大限に活用した新発想の測定装置 −
あらゆる形状のサンプルを簡単測定
ネットワークアナライザを使用したタイプ
ネットワークアナライザ代替の
専用回路を使用したタイプ
本測定装置は、東京大学大学院総合文化研究科 前田研究室との産学協同開発として、川崎市より認定された事業の成果です。
■ エバネッセント波を用いた開放型同軸共振器による測定
共振器上部に小径の開口部があり、そこからはみ出るわずかな近接場(エバネッセント波)が測定サンプルに浸潤し、共振器全体の共振周波数、Q値がサンプルの複素誘電率に応じて変化します。その変化量から誘電率を算出します。
■ 非破壊で簡単な測定作業
開放型共振器であるため、様々な形状のサンプルが測定できます。サンプルを共振器の上に置くだけで短時間に測定できます。
■ 安定した測定
測定設置部に真空吸着機構を設けることで、測定面に常に安定した接触状態を維持できます。
共振器の周波数ポイント
1つの共振器につき5点
平滑な面があれば形状は任意
装置の概要について
「同軸共振器型の誘電率測定装置」とはどのようなものですか
また装置の構成を教えてください。
オシレータイプ(ネットワークアナライザ代替回路)とネットワークアナライザタイプのシステム構成は、それぞれどのようなものですか
「同軸共振器型の誘電率測定装置」は、従来の測定法とどこが違うのですか
測定治具は何ですか
またその治具の特長と、測定できる対象物はどのようなものですか
「同軸共振器型誘電率測定装置」の測定原理とはどのようなものですか
測定の精度はどのくらいですか
また高精度な測定値を得るための重要なポイントは何ですか
サンプルの測定について
サンプルの条件はどのようなものですか
測定できる誘電率特性の限界はどの程度ですか
測定できる誘電率の特性に限界がある理由は何ですか
異方性材料を測定することはできますか
サンプルの測定を依頼することはできますか
装置のオプションについて
基準材料にはどのようなものを使っていますか
本装置はどのネットワークアナライザにも対応していますか
装置の概要について
「同軸共振器型の誘電率測定装置」とはどのようなものですか
また、装置の構成を教えてください。同軸共振器型の誘電率測定装置は、マイクロ波周波数帯で誘電率特性を測定する装置です。測定システムにはオシレータ(ネットワークアナライザ代替回路)を使用するタイプと、ネットワークアナライザを使用するタイプがあります。
オシレータイプ(ネットワークアナライザ代替回路)とネットワークアナライザタイプのシステム構成は、それぞれどのようなものですか
オシレータタイプは、オシレータ、プローブ、ソフトウェア、アクセサリが含まれます。オシレータタイプの測定回路は、マイクロ波信号発生器、検波機器で構成されています。高価な測定機器が不要ですので、経済的です。ネットワークアナライザタイプには、プローブ、ソフトウェア、アクセサリが含まれ、お手持ちのネットワークアナライザに接続してシステムを構成します。誘電率測定装置の構成」をご参照ください。
3 「同軸共振器型の誘電率測定装置」は、従来の測定法とどこが違うのですか
「同軸共振器型の誘電率測定装置」が従来の測定装置と大きく異なる点は、その使いやすさにあります。平坦な面が一つでもあれば、どのような形状の材料でも測定することができる、ユニークな測定プローブを採用しています。また、弊社独自開発のソフトウェアも付属されています。使用方法は、プローブの上面にサンプルを置き、ソフトウェアのウィザードに従って画面をクリックするだけで、複雑な誘電率と誘電損失が簡単に測定できます。
4 測定治具は何ですか
またその治具の特長と、測定できる対象物はどのようなものですか
測定治具には同軸共振器と呼ばれる「測定プローブ」を採用しています(特許取得第3691812号)
1つの測定プローブは5ポイントの共振周波数を有し、複数の周波数ポイントの選択、および同時測定を可能にします。測定プローブには3種類あり、タイプにより測定周波数ポイントが決まっています。本測定プローブによる測定は、サンプルの加工を必要としない非破壊測定が可能です。測定対象は主にプラスティック、セラミックス、各種樹脂、液晶ポリマー、コネクタ、ガラスなどですが、様々なお問い合わせをいただいております。同軸共振器」をご参照下さい。
5 同軸共振器型誘電率測定装置」の測定原理とはどのようなものですか
測定プローブの上面にサンプルが設置されると、測定プローブの先端から電界が漏れ(エバネッセント波)、サンプルに浸潤します。電界はサンプルの誘電率特性(複素誘電率)に応じて変化するので、共振器全体の共振特性(共振周波数、Q値)も変化します。共振特性の相対的な変化から誘電率、tanδを算出するという方法です。同軸共振器」をご参照下さい。
6 測定の精度はどのくらいですか
また高精度な測定値を得るための重要なポイントは何ですか
比誘電率の誤差は、±1%です。基準材料で校正することで精度を確実なものにしています。基準材料としては、2種類の異なる材料を用いています。基準材料とサンプルの測定結果における相対的な差を計算することで、周囲環境(例:温度、湿度、振動など)によって生じる誤差の原因を排除します。高精度な測定値を得るための重要なポイントは、プローブの表面にサンプルがしっかりと接触していることです。わずかな隙間でもあれば、得られた測定値は変わってきます。本装置ではサンプルを設置するプローブの上部に真空吸着機構が設けられており、測定面は常に安定した接着状態が保たれています。AETの誘電率測定法」をご参照下さい。
サンプルの測定について
1 サンプルの条件はどのようなものですか
サンプルの条件としては、平坦で滑らかな面が少なくとも一つ必要なだけです。5mm以上あれば、サンプル全体の形状は任意です。
薄膜を測定する場合は、0
5mm以上の厚さにするために薄膜を重ねて測定します。
2 測定できる誘電率特性の限界はどの程度ですか
本装置では1〜15までの比誘電率を測定することができます。
3 測定できる誘電率の特性に限界がある理由は何ですか
比誘電率が高い材料にはエバネッセント波が深く浸透しないため、高い誘電率を精度よく測定することは困難になります。
また、誘電正接が0
001以下の超低損失な材料の測定が難しい理由は、エバネッセント波の放射損と同軸の導体損のため、従来の空洞共振器に比べてQ0値が低い特性になってしまうからです。このような高誘電性や超低損失性材料の測定には別タイプの空洞共振器型誘電率測定装置をお薦めします。
4 異方性材料を測定することはできますか
エバネッセント波のベクトルが均一でないので、異方性の特性を測ることはできません。
5 サンプルの測定を依頼することはできますか
測定サンプルを弊社までお送りください。測定結果を返送させていただきます。
装置のオプションについて
1 基準材料にはどのようなものを使っていますか
測定基準となる材料には、既知の誘電率特性を持つ、2種類の異なった材料を用いています。これらの基準材料で測定パラメータを校正することで、定量的精度が得られています。基準材料としては、SiO2(二酸化ケイ素)とMgO(酸化マグネシウム)の2種類の単結晶を用いています。
2 本装置はどのネットワークアナライザにも対応していますか
アジレント社のPNAシリーズ、ENAシリーズ、872xシリーズ、アンリツ社 37000シリーズ及びローデ・シュワルツ社のネットワークアナライザが使用できます。それ以外のネットワークアナライザをお持ちの場合は、弊社までお問い合わせください。
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AETの誘電率測定法
誘電率測定装置の構成
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本誘電率測定装置は、ステップ・バイ・ステップの簡単操作で、誰にでも正確に安定した測定が可能です。
独自開発の開放型同軸共振器から漏れる共振電磁場を利用してサンプルの複素誘電率を測定するという画期的な誘電率測定法を開 発
この新発想の共振器と、独自開発の高精度測定プログラムにより、低コストで高精度な測定を可能にします。本誘電率測定装置は、オシレーター(ネットワークアナライザに代わる発振/受信回路を採用した)タイプと、 ネットワークアナライザーを使用するタイプの二種類をご用意しています。
(※誘電体共振器治具および平板測定用共振器治具を使用する場合はネットワークアナライザータイプのみです)
オシレータータイプの測定装置には、オシレーター、プローブ、ソフトウェア、アクセサリが含まれます。本タイプの測定回路は、マイクロ波信号発生器と検波機器で構成されています。高価な測定機器が不要ですので、経済的です。
(*パソコンは含まれません)
ネットワークアナライザタイプの測定装置には、プローブ、ソフトウェア、アクセサリが含まれます。お手持ちのネットワークアナライザに接続してシステムを構成します。
(*パソコンは含まれません)
高速ディジタル/マイクロ波回路の各種材料
高誘電率で低損失な材料
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同軸共振器法による誘電率測定
<あらゆる形状のサンプルを簡単測定>
同軸共振器とサンプル設置
<薄膜、多層構造基板の測定に最適>
空洞共振器とサンプル設置
<高誘電率で低損失な誘電体の測定に最適>
ネットワークアナライザタイプのみご提供
上下の導体板にサンプルを挟んで設置
「誰にでも簡単に使える」を実現した独自開発のソフトウェア
ネットワークアナライザを操作する知識や経験が不要です。測定ウイザードに従ってボタンをクリックするだけでソフトウェアが高精度に誘電率を測定してくれます。
同軸共振器用ソフトウェアの操作手順
ソフトウェアを起動し、測定周波数を選択
プローブを校正します。
測定が完了すると、測定結果をCSVファイルで保存
※連続測定は校正作業をスキップできます。
ソフトウェアの使用方法はこのページトップの 「動画で知る誘電率測定 4
実際の測定」を参照ください。
誘電率の受託測定サービス
弊社では誘電率の測定サービスも行っています。測定サンプルの形態、形状に合わせて様々方法から最適な方法を選択し、測定を行います。
固体、液体、粉体、気体などの測定
詳細は以下のページをご覧ください。
共振器法に電磁界解析技術をプラス
サンプルを設置する前と設置後との共振器内部の共振特性、共振分布の変化・損失を電磁界解析技術を用いて精密に求めることでより正確な誘電率の算出が可能になります。
測定ポイント近傍の電界分布
同軸共振器プローブ先端部から漏れる共振電磁場(エバネッセント波)が、先端部に設置されたサンプル(Test Material)に浸潤すると、サンプルの持つ複素誘電率によって共振器全体の共振特性(共振周波数、Q値)に変化が生じます。この変化を測定することで誘電率、tanδ算出します。マルチドメイン電磁界シミュレータ「MW STUDIO」を用いて計算した電磁界分布及び共振器特性を、従来の複素誘電率の算出方式に組み込むことで、独自の高精度な測定プログラムを開発しました。
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エーイーティーが設計するマイクロ波加熱乾燥装置は、被加熱乾燥物に応じた最適のアプリケータによ る高効率な加熱乾燥を実現します。AETオリジナルタイプ [ カスタムオーダーを承ります ]
被加熱物に応じた 最適のアプリケータによる 高効率な加熱を提案します(*乾燥についてもご相談下さい)
電磁界シミュレータを用いた解析による最適設計の実現を致します。
被加熱物の解析による均一発熱化
マルチスロットアンテナによる均一照射化(コンベア炉)
各種導波管コンポーネントの解析による最適化
プッシュナー社(PUSCHNER)が有するマイクロ波加熱技術は、熱に敏感な被加熱物の品質を損なうことなく、短時間で均一な加熱処理を実現します。加熱乾燥装置には真空タイプ・フローヒータータイプ・コンベヤタイプ・チェンバーオーブンタイプ等があり、加熱の目的や被加熱物の形状・性質により選択が可能です。その応用は、滅菌や殺菌には欠かすことができない化学・医療・医薬産業だけにとどまらず、窯業・プラスチック・食品・印刷業など様々な分野での応用が期待できます。プッシュナー社(ドイツ)は、世界でも定評のあるマイクロ波プラントの開発および製造メーカーです。
各乾燥ゾーン内で赤外線温度測定
バッチ操作での重量測定をオンライン化
連続操作での湿度測定をオンライン化
マイクロ波電力の自動チューニング
マイクロ波ジェネレータとアプリケータを分離能
マイクロ波アプリケータ内で簡単に被加熱物のチューブ交換が可能
IDMを使用したフロー測定
マイクロ波電力の自動チューニング
各乾燥ゾーン内で赤外線温度測定
フィーダやダブルスクリュードージングシステムを使用した重量計
連続操作での湿度測定をオンライン化
マイクロ波電力の自動チューニング
赤外線温度測定により温度プログラムをモニタ、制御
マイクロ波を応用した加熱と乾燥
マイクロ波加熱とは、被加熱物に直接浸透したマイクロ波の電磁波エネルギーを分子の運動エネルギーに変えることで、被加熱物自体が発熱体となる加熱方法です。被加熱物の外側から加熱する従来の加熱方法と比べて、このマイクロ波加熱は被加熱物の内部から加熱するので、被加熱物の品質を損なうことなく、短時間で均一な加熱を実現します。
従来の加熱法(熱伝導・対流・赤外線など)より低い表面温度で加熱
従来の加熱法より加熱時間を短縮
被加熱物に対して均一な加熱が可能
固体・粉体・液体・粘性体・かさばる形状などの被加熱物に対して摩擦による。
品質低下を起こさず加熱
マイクロ波電力を迅速かつ簡単に制御可能
残留湿度はppmレベルまで十分に乾燥
真空状態でのマイクロ波加熱
加熱工程の全自動化
精製化学製品の乾燥
腐食性および研磨性の高い被加熱物の加熱
金属酸化物の加熱および乾燥
化学処理における反応促進剤
高粘性の化学原料の加熱および液状化
過酸化物および爆発物の乾燥
タブレットや溶媒を除去する活性成分を真空乾燥
低温殺菌および医薬品の有効期限の延長
高粘性の化学原料の加熱および液状化
超高速加熱で血清やたんぱく質の滅菌
陶磁器製品の加熱および乾燥
セラミックス触媒の乾燥
セラミックスファイバの乾燥
セラミックス・ペレットのシンタリング
酸化物セラミックスのシンタリング
積層板や耐熱合成樹脂合板の加熱
断面が強化されたグラスファイバのポリメリゼーション
プラスチックの断面の予熱
エポキシパイプおよびエポキシチューブの加熱
プラスチック原料およびプラスチック粉末の乾燥
プラスチックウェブおよびプラスチックシートの加熱
紙業やシート材料
輸液システム、カテーテルなどに使われるポリアミド・チュービングの加熱および融解
透析装置および薄膜の乾燥
紙およびシート材料の乾燥
乾燥ゾーンは個々に全自動制御可能
被加熱物にとって最適な乾燥状態が実現できる。エアーおよび真空を組み合わせた。
赤外線アレイカメラ、ホットキャビティ、ガス雰囲気、グラファイト加熱システム(1600°Cまで)で構成されたマイクロ波加熱炉
従来の加熱方法は、被加熱物の外側から加熱する方法
それに対してマイクロ波加熱は内部加熱のため、従来の加熱法より低い表面温度で加熱
短時間で均一な乾燥が可能
回転式ノブで簡単に操作できる。
1%以下まで乾燥可能
高圧フローヒーターで有機物を熱化学変換する。
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エーイーティーでは、TWT(進行波管)アンプもしくはソリッドステートアンプと、ソリッドステート信号源を組み合わせ、2〜30GHz帯域で使用できる高出力電源を開発しました。
TWTアンプは長寿命、高信頼性のある製品を採用
ソリッドステートアンプはソリッドステート発振による安定した動作に加え、オールソリッド化により小型化を実現
ソリッドステート信号源はマイクロ波変調パルスジェネレータを組み込むことで周波数可変およびパルス変調が可能です。ECRプラズマ源や加速器などの様々な工業・研究用途にご利用いただけます。
下記2つは選択式
ディテクタヘッドをディレクショナルカップラに直付け
※ディテクタヘッドとディレクショナルカップラはAET社製
(突起物は含まれません)
CW、パルス切り替えスイッチ付き
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エーイーティーで現在開発中の超小型X線源は、新開発の超小型X線管により電子ビームを高電界加速し、ターゲットよりX線を取り出すことができます。また、真空薄膜を通して電子ビームのみを取り出すことも可能です。高電圧超短パルス技術を採用した超小型X線源は、電界放射型カーボンナノチューブカソードを用いた超小型X線管と、高周波同軸ケーブルで構成されています。放射線治療などの医療用だけでなく、非破壊検査などの工業用・研究用に応用することができます。
アイソトープ源の置換
表面処理と分析
※ 本装置は現在開発中です。
※ 科学技術振興財団による独創的研究成果育成事業の委託研究
※ 伝送ケーブルと電子ビーム加速器は消耗品です。
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高周波機器等の産業用のみならず医用や軍用のレーダー電波の表面吸収などに応用されています。カミング社(米国)は、様々なタイプのマイクロ波吸収体、遮へい物質の製造メーカーです。単一層や多層発泡体構造からなる、薄い平坦な電波吸収体です。抵抗皮膜で電気的な等級化や絶縁処理が施されています。多彩な製品ラインナップから広帯域特性、損失性、難燃性*、防水性に優れた製品をお選びいただけます。
不要反射の抑制
共振器のQ値の低減
吸収体厚み 約3
特定の周波数や周波数帯に同調する、タイル状もしくはシート状の電波吸収体です。樹脂材料には、シリコン・ウレタン・ニトリル・ネオプレンがあります。多彩な製品ラインナップから広帯域特性、高損失性、柔軟性、防水性、磁気性に優れた製品をお選びいただけます。
電子部品内の不要なRFエネルギーの除去
吸収体厚み 0
電子部品内の不要なRFエネルギーの除去
吸収体厚み 0
ピラミッド型、ウェッジ型および円突起型の高性能電波吸収体です。広帯域特性、柔軟性、難燃性*に優れた製品や、高周波帯用、低周波帯用、屋外用、クリーンルーム用など多彩な製品ラインナップからお選びいただけます。損失誘電体と誘電正接を低く制御した誘電体材料で、優れた誘電体特性と物理特性を持ちます。誘電体の形状は発泡体・シート状・棒状・ロッド状・液状・金型内発泡体など様々です。低密度、耐熱性、柔軟性に優れた製品、交差結合型ポリスチレン製品もご用意しています。
共振器のQ値の調整
ストリップラインアンテナの材料
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これらのスイッチは、特に漏れ電波が最小になるように設計されており、100万回のスイッチサイクルまで保証されています。ラッチングスイッチ・フェイルセイフスイッチ・マルチポジションミニチュアスイッチ等は、通信用・軍事用・研究用に世界中で広く応用されています。スイッチはカスタムオーダーにも応じています。シリーズ1500は、高性能、高操作性を誇る小型のSPDT同軸スイッチです。
貫通端子、またはMSコネクタ
RFコネクタは選択可能です。
貫通端子、またはMSコネクタ
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特に大電圧、大電力の導波管型移相器、水負荷、可変減衰器、インピ−ダンス整合器に関しては非常に高い技術を持っております。大型加速器から小型の半導体装置まで幅広く応用されています。RFT社は高出力マイクロ波システムやコンポーネントの開発・製造メーカーです。
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)の導波管は、MILのスペックを満たす非常に高品質な製品で、通信や軍用に広く応用されています。同社では、導波管の素材を始め、各種導波管のカスタムオ−ダ−の開発・製造も行っております。ペン・エンジニアリング社(米国)は、マイクロ波の分野を主とする導波管の開発・製造メーカーです。
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エーイーティー開発の大気圧小型マイクロ波プラズマ源は、荷電粒子・プラズマを考慮した3次元電磁界解析の技術と、高Qの大電力マイクロ波共振器の設計技術を融合し開発された、マイクロ波ハイブリッドモード型共振器を採用しています。導波管が不要で整合回路を必要としないため、高い自由度でのプラズマ源の設置が可能となり、低コストでのシステム構成が実現します。大気圧下で作られるプラズマは非平衡プラズマであり、プラズマ温度が低いため熱反応を抑えながら対象物のプラズマ処理が可能となります。大気中での処理が可能であるため連続プロセス(ベルトコンベヤプロセス)処理にも適しています。大気圧小型マイクロ波プラズマ源は、各種材料の処理やコーティング、殺菌や洗浄に至るまで幅広い応用が期待できます。また、生体を含む有機物への対応も可能となるので、全く新しいプラズマの応用が期待されます。特に、カーボンナノチューブをはじめとするナノ粒子やナノテク、バイオ、医療、薬品分野でのプラズマ応用は新しい産業を生み出す可能性を秘めています。
大気圧窒素ガスで放出されたプラズマ
共振器内のプラズマ発光
マイクロ波プラズマ源(SURFATRON)は、非共振モード放電により安定したプラズマを生成します。またインピーダンスの調整により高い生産性と、ほぼ0%の反射電力で高効率性を実現しています。元素分析、光学分光、表面処理、プラズマ化学に利用できます。1978年、フランスに設立されたSAIREM社は研究・工業用のマイクロ波/高周波システムやプラズマ源の開発・製造メーカーです。
非共振モードの放電により優れた安定性を実現
インピーダンスの調整が可能なので生産性が高い。
反射電力はほぼ0%の高効率性
マイクロ波ダウンストリーム源は、純粋で安定した電子プラズマを生成します。
コンパクト設計でパーツは取りはずし可能
石英管のサイズも選択できます。プラズマによるエッチング、蒸着、薄膜、表面処理などにご利用ください。
2種類のコンパクトモデル
〔モデル2〕 モデル1と同タイプで各パーツの取り外しが可能、石英管によるマイクロ波の遮断および冷却が可能
インターフェイスのカスタマイズ化、附属コンポーネントもご用意(※石英管は装置のパーツに含まれません)
エッチング、蒸着、薄膜、表面処理に利用
ミュゲ社(MUEGGE)は、マグネトロン電源装置やマイクロ波コンポーネントの開発から製造まで一貫したプロセスコントロールで、カスタマのニーズに合った製品作りを実現しています。ミュゲ社のマイクロ波技術は食品・医療・ガラス・セラミック業界と多方面で需要があり、またプラズマ技術はエレクトロニクス・半導体・医療・機械・繊維・光学業界などで幅広く応用されています。
高速に、均一に、広範囲にプラズマを発生
均一に、広範囲にガスを注入
排気ガスが均一に分布
前方にローダ装備
システムサイズをカスタマイズ可能
プロセスチェンバー付き
チェック機能付き
最上部に窓付き
基板ホルダー付き
低圧のマイクロ波プラズマ源
高いプラズマ密度
プロダクションシステムとリサーチシステム
磁気閉じ込め
ガスチャネルの追加
水冷/空冷の複合式
低圧のマイクロ波プラズマ源
高いプラズマ密度
カスタマイズ型システムに容易に適合が可能
プラズマのモニタリング
磁気封じ込め
お客様の仕様による。
水冷/空冷の複合式
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プラズマに最適
マイクロ波加熱に最適
可変出力が可能
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)のパルスカレントトランスは、広範囲にわたるパルス電流、パルス長、周波数を測定します。スタンガネス社は、高圧パルストランス及び電流モニタ用トランス、絶縁トランス等のメ−カ−です。
被測定回路から絶縁してパルス電流を測定
50Ωの内部終端で同軸ケーブルを整合
多様な内径サイズで、あらゆる導体および電圧に適合
立ち上り時間
*1 補助的に少量のバイアス電流が必要な場合有り
CVDの形状・サイズは、自由にカスタムオーダーできます。お気軽にお問い合わせください。
超高圧パルス電圧を分圧し測定することが可能
油中における最大パルス電圧
800KVまでもしくはそれ以上の電圧測定もカスタマイズ可能
オシロスコープおよび52ohmケーブル
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キャップ・ワイヤレス社(CAP Wireless)は、最新の設計ソフトウェアを用い、試作品の設計を高精度にシミュレーションすることで、低コスト・短納期でカスタマの仕様にあった製品を提供しています。この製品はTWTの代替品として期待されており、無線通信サービス・移動体無線・パーソナル通信サービスなどの利用に世界中の工業・科学・医学分野のエレクトロニクス市場でニーズがあリます。キャップ・ワイヤレス社(米国)は、ワイヤレス通信用製品の開発・製造メーカーです。
利得の変化(動作温度上)
優れた利得平坦度
低い高調波ひずみ
飽和出力に必要な入力
高調波ひずみ
強制空冷、現場交換可能なファン
利得の変化(動作温度上)
(立上がり/立下り)
立上がり/立下り時間
立上がり/立下り時間遅延
利得の変化(動作温度上)
高い位相精度
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AET は、電磁波に関する深い知識と技術をもとに、最先端のハードウェア・ソフトウェアの提供に努める一方で、お客様の開発の高速化、効率化、そしてコスト削減を支援するためのさまざまな技術サービスを提供しております。信頼性の高い解析ソフトウェアにより、プラズマに関する荷電粒子運動や電磁場の解析を行ない、プラズマにかかわる開発・研究を支援いたします。実績ある荷電粒子運動解析ソフトウェアを使用することにより、電子やイオンビーム装置の研究・開発・設計を支援いたします。
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信頼性の高い2次元の電磁界・荷電粒子運動解析ソフトウェアにより、プラズマに関する荷電粒子運動や電磁場の解析を行ない、プラズマにかかわる開発・研究を支援いたします。
◆LSPによる荷電粒子解析例
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信号の遅延・減衰・反射・クロストーク・放射などの信号伝送の品質は材料のもつ電気特性によって大きく左右されます。優れた高周波特性を持つ材料を開発するには、電気材料の特性を正確に把握することが不可欠です。
マイクロ波・ミリ波の知識と経験を有するエーイーティーの誘電率測定は、サンプルの形態・形状に合わせて様々な方法から最適な方法を選択
マルチドメイン電磁界シミュレータ「※MW STUDIO」を用い、従来の解析手法に比べて高精度な測定を実現します。
※MW STUDIOはエーイーティーが販売する3次元電磁界解析ソフトウェアです製品詳細ページへ
■ 半導体向け絶縁材料
主な測定方法
誘電率測定は高Q値の共振器技術と3次元電磁界解析をベースにしており、材料と形状に応じて下記のラインナップから最適な方法を選択いたします。
方法と周波数
マイクロ波領域で非破壊で測定可能
細長い短冊状
プリント基板材料等を実際の
使用状態にて測定可能
広帯域の連続した特性を測定可能
低損失な高誘電体
誘電損失がおよそ0
001以下の低損失材料の測定
お見積り・お問合せフォーム
お見積り・お問合せフォーム(FAX)
これまで、摂動理論に基づく近似計算に頼ってきた誘電率導出プロセスに3次元電磁界解析技術を投入
試料による共振場の歪みまでを高精度に扱うことが可能となり、より高精度な誘電率測定が実現しました。
誘電率測定装置の販売
エーイーティーでは自社開発の誘電率測定装置を販売しております。弊社の誘電率測定装置は、独自開発の同軸プローブと測定ソフトウェアにより、複雑な誘電率を簡単かつ高精度に測定できる装置です。試料をプローブの上に置くだけなので、面倒な試料の加工が必要なく、またネットワークアナライザなどの高価な測定機器が不要ですので経済的です。詳細は以下のページをご覧ください。
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