Виготовлення такої установки відбувалось так: спочатку на підкладці з оксиду кремнію вирощували одностінну вуглецеву нанотрубку методом хімічного осадження з пару (CVD, Chemical vapor deposition).
Виправте граматичні помилки в цьому реченні: Виготовлення такої установки відбувалось наступним чином: спочатку на підкладці з оксиду кремнію вирощували одностінну вуглецеву нанотрубку методом хімічного осадження з пару (CVD,  Chemical vapor deposition).