Наступним кроком покривали кремнієву підкладку шаром полімеру PMMA завтовшки 800 нм та шаром полімеру PDMS.
Виправте граматичні помилки в цьому реченні: Наступним кроком покривали кремнієву підкладку шаром полімеру PMMA товщиною 800 нм та шаром полімеру PDMS.