ਮੈਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐੱਚ. ਏ. ਆਰ. ਸੀ. ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਬੁਨਿਆਦੀ ਸਿਧਾਂਤ ਦੱਸੋ।'] ", 'ਮੈਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐੱਚ. ਏ. ਆਰ. ਸੀ. ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਬੁਨਿਆਦੀ ਸਿਧਾਂਤ ਦੱਸੋ।', " ['ਮੈਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐੱਚ. ਏ. ਆਰ. ਸੀ. ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਬੁਨਿਆਦੀ ਸਿਧਾਂਤ ਦੱਸੋ।', 'ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐੱਚ. ਏ. ਆਰ. ਸੀ. ਐਚਿੰਗ ਇੱਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜੋ ਮਾਈਕਰੋਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਉੱਚ-ਪਹਿਲੂ-ਅਨੁਪਾਤ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਸਿਲੀਕਾਨ ਅਤੇ ਹੋਰ ਅਰਧ-ਕੰਡਕਟਰਾਂ ਵਰਗੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਵਿੱਚ ਨਾਜ਼ੁਕ ਮਾਪ (ਐੱਚ. ਏ. ਆਰ. ਸੀ.)। ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਬੁਨਿਆਦੀ ਸਿਧਾਂਤ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਅਨੁਸਾਰ ਹਨਃ \\n\\n1. ਉਤਪਾਦਨਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦਾਃ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇੱਕ ਗੈਸ ਤੋਂ ਇੱਕ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਨਾਲ ਸ਼ੁਰੂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ ਉੱਤੇ ਹਾਈਡਰੋਜਨ ਅਤੇ ਇੱਕ ਹੈਲੋਜਨ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਕਲੋਰੀਨ ਜਾਂ ਬ੍ਰੋਮਾਈਨ ਦਾ ਮਿਸ਼ਰਣ।ਗੈਸ ਰਾਹੀਂ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੇਡੀਓ-ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ ਸ਼ਕਤੀ ਨੂੰ ਪਾਸ ਕਰਕੇ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਨੂੰ ਆਇਨਾਈਜ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇੱਕ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। \\n2. ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਃਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨੂੰ ਫਿਰ ਇੱਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਪੇਸ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਜਿੱਥੇ ਐਚਿੰਗ ਕੀਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਕਰਨ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦਾ ਹੈਸਮੱਗਰੀ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਇਹ ਟੁੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਅਨੀਸੋਟ੍ਰੋਪਿਕ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਦਾ ਅਰਥ ਹੈ ਕਿ ਐਚਿੰਗ ਮੁੱਖ ਤੌਰ ਤੇ ਵਿੱਚ ਹੁੰਦੀ ਹੈਪਦਾਰਥ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਲੰਬਕਾਰੀ ਦਿਸ਼ਾ। \\n3. ਐਚਿੰਗ ਰਸਾਇਣਃ ਐਚਿੰਗ ਰਸਾਇਣ ਇਸ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਗਏ ਗੈਸ ਮਿਸ਼ਰਣ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਪਲਾਜ਼ਮਾ. ਐੱਚ. ਏ. ਆਰ. ਸੀ. ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਹਾਈਡਰੋਜਨ ਅਤੇ ਹੈਲੋਜਨ ਗੈਸਾਂ ਪਦਾਰਥ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਹਾਈਡਰੋਜਨ ਰੈਟੀਕਲ ਅਤੇ ਹੈਲਾਈਡ ਬਣਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਹਾਈਡਰੋਜਨ ਰੈਟੀਕਲ ਹਮਲਾ ਕਰਦੇ ਹਨ।ਸਾਈਡਵਾਲ ਤੋਂ ਸਮੱਗਰੀ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਹੈਲਾਈਡ ਉੱਪਰਲੀ ਸਤਹ ਤੋਂ ਹਮਲਾ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਉੱਚ-ਪੱਖ-ਅਨੁਪਾਤ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦਾ ਨਿਰਮਾਣ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। \\n4. ਆਦਿਰੇਟ ਕੰਟਰੋਲਃ ਬਿਜਲੀ ਅਤੇ ਗੈਸ ਦੇ ਵਹਾਅ ਦੀ ਦਰ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਕਰਕੇ ਐਚਕ ਰੇਟ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਉੱਚ ਬਿਜਲੀ ਅਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰਾਂ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਤੇਜ਼ ਐਚਕ ਰੇਟ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਜਦੋਂ ਕਿਘੱਟ ਪਾਵਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰਾਂ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਐਚਿੰਗ ਦੀਆਂ ਦਰਾਂ ਹੌਲੀ ਹੋ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਐਚਿੰਗ ਦੀ ਦਰ ਨੂੰ ਘਟਾਓਣਾ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਕਰਕੇ ਵੀ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। \\n5.ਐਂਡਪੁਆਇੰਟ ਡਿਟੈਕਸ਼ਨਃ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਐਂਡਪੁਆਇੰਟ ਨੂੰ ਉਸ ਬਿੰਦੂ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਜਿਸ ਉੱਤੇ ਐਚਿੰਗ ਪੂਰੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਐਂਡਪੁਆਇੰਟ ਡਿਟੈਕਸ਼ਨ ਇਸ ਦੁਆਰਾ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈਉਸ ਦਰ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਜਿਸ ਉੱਤੇ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਹਟਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਾਂ ਖਾਸ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਦੇ ਗਠਨ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣ ਲਈ ਆਪਟੀਕਲ ਜਾਂ ਪੁੰਜ ਸਪੈਕਟ੍ਰੋਮੈਟਰੀ ਵਿਧੀਆਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਦੌਰਾਨ। ਕੁੱਲ ਮਿਲਾ ਕੇ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐੱਚ. ਏ. ਆਰ. ਸੀ. ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਅਨੀਸੋਟ੍ਰੋਪਿਕ ਹੈ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਪੱਖ-ਅਨੁਪਾਤ ਦੀ ਸਿਰਜਣਾ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦੀ ਹੈ।ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਉੱਤੇ ਸਹੀ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦੇ ਨਾਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ। ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ ਉੱਤੇ ਮਾਈਕਰੋਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ',' ਕਿਸ ਕਿਸਮ ਦੀਆਂ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟ੍ਰਾਈਡ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਆਕਸਾਈਡ ਦੇ ਬਹੁ-ਪੱਧਰੀ ਸਟੈਕਾਂ ਨੂੰ ਐੱਚ. ਏ. ਆਰ. ਸੀ. ਐਚਿੰਗ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ? ", 'ਮੈਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐੱਚ. ਏ. ਆਰ. ਸੀ. ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਬੁਨਿਆਦੀ ਸਿਧਾਂਤ ਦੱਸੋ। \n ']