يتم استعمال أوكسيد الإيثيلين في تعقيم الأدوات الحساسة للحرارة والرطوبة مثل الأجهزة والمعدات البلاستيكية والمكونات الكهربائية التي لن تتحمل درجات الحرارة المرتفعة. يعمل أوكسيد الإيثيلين على قتل الميكروبات وتعقيم الأدوات ويُعتبر تقنية ممتازة في عمليات التعقيم مؤخرًا. يتم استعمال أوكسيد الإيثيلين كما سبق التنويه في تعقيم الأدوات الحساسة للحرارة والإشعاع، كما يُستعمل في التعقيم داخل المستشفيات من أجل قتل كل الكائنات الدقيقة التي قد تسبب العدوى. تنقسم عملية التعقيم باستخدام أوكسيد الإيثيلين إلى ثلاث مراحل هي مرحلة التهيئة الأولية ثم مرحلة التعقيم ثم مرحلة إزالة الغاز. في مرحلة التهيئة الأولية يتم تعريض المعدات والأدوات الطبية لدرجة حرارة ورطوبة معينة من أجل السماح للميكروبات والبكتيريا بالنمو من أجل قتلها في المرحلة التالية. تستغرق هذه المرحلة حوالي 60 ساعة عقب مرحلة التهيئة الأولية، ويجب فيها الحرص على التحكم بدرجة الحرارة من أجل ضمان عملية التعقيم وإلا اضطررت لإعادة العملية مجددًا. يجب أيضًا التحكم في الضغط ودرجة التفريغ داخل الجهاز وإلا لن يبدأ بالعمل.  يقوم الجهاز ببث تقرير عن حالة التعقيم في نهاية هذه المرحلة من أجل التنويه عن أيّة مشاكل في عملية التعقيم. يبدأ الجهاز في المرحلة الثالثة عقب مرحلة التعقيم في حالة ضبطه على الوضع الأوتوماتيكي وفي حالة عدم وجود أخطاء في التقرير. يتوقف الجهاز عن العمل في حالة وجود أخطاء في عملية التعقيم ويطلب إصلاح هذه الأخطاء قبل الاستمرار في عملية التعقيم. في هذه المرحلة يتم التخلص مما تبقى من غاز أوكسيد الإيثيلين من الأدوات المعقمة، حيث إن هذا الغاز قابل للاشتعال وخطير على البشر، ويجب الحرص على إتمام هذه المرحلة بنجاح حتى لا تتسبب في الأذى لأي شخص قد يتعامل مع الأدوات لاحقًا. تتم هذه المرحلة في درجة حرارة محددة.  كُن على دراية بأن أوكسيد الإيثيلين مادة خطرة ويجب الحرص على معرفة إجراءات السلامة في حالة تلامس أي شخص مع الغاز. تستغرق هذه الطريقة وقتًا أطول بكثير من طريقة الأوتوكلاف.
تعرف على هذه الطريقة في التعقيم. ابدأ عملية التعقيم. ابدأ مرحلة التعقيم. ابدأ في تنفيذ مرحلة إزالة الغاز.