b spēj formēt trafaretattēlu ar mazāko atšķiramu detaļu lielumu (mrf) 95 nm vai mazāku tehniska piezīme mazāko atšķiramu detaļu lielumu (mrf) aprēķina ar šādu formulu mrf =ekspozīcijas gaismas avota viļņu garums nm × k koeficients ciparu aparatūra