monolītiskās integrālās shēmas kurās shēmas elementi (diodes tranzistori rezistori kondensatori kontaktsavienojumi utt) galvenokārt izveidoti iekšienē vai uz pusvadītāja materiāla (piemēram leģēta silīcija gallija arsenīda silīcijģermānija indijfosfīda) virsmas un ir savstarpēji neatdalāmi saistīti