Microestruturas em fibras oticas e estruturas planares gravadas por microusinagem com laser de femtosegundos: controle, producao e caracterizacao
O presente trabalho descreve a fabricacao de microestuturas produzidas com laser de pulsos ultracurtos na ordem de femtosegundos (fs) em estruturas planares transparentes e em fibras oticas. O objetivo geral da pesquisa e a producao e a caracterizacao destas microestruturas atraves da analise dos parametros de gravacao. Este trabalho consiste no desenvolvimento de programas de movimentacao para a fabricacao de diferentes microestruturas, e em ensaios exaustivos com mudancas dos parametros de gravacao. As metodologias empregadas para a fabricacao de microcavidades em estruturas planares transparentes sao: a microusinagem baseada na ablacao direta por exposicao laser e a microusinagem por exposicao laser seguida de corrosao quimica (FLICE) Sao descritas as producoes de linhas, canais, canaletas e areas em estruturas planares. Para a microusinagem em fibras oticas a metodologia utilizada e a de ablacao direta por exposicao laser. Utilizando a metodologia de ablacao direta foram desenvolvidas duas tecnicas para a obtencao de cavidades com perfis diferentes que empregam distintos programas de movimentacao das fibras oticas. Os resultados obtidos por estas diferentes tecnicas sao microcavidades com perfis laterais em forma de U e V. As microcavidades obtidas em estruturas planares e fibras oticas foram aplicadas como sensores de forca, indice de refracao e temperatura, baseados em demodulacao em intensidade e comprimento de onda. Os resultados obtidos neste trabalho, oriundos das caracterizacoes realizadas para cada um desses arranjos experimentais, demonstram a viabilidade de fabricacao dessas microestruturas para utilizacao em sensores.