وتقتصر قدرة نظام التعرض، مثل السائر، إلى حل خطوط ضيقة من الطول الموجي للضوء المستخدمة للإضاءة، والقدرة للعدسة لالتقاط الضوء (أو أوامر فعلا من الحيود) القادمة في زوايا أوسع نطاقا على نحو متزايد (وتسمى الفتحة العددية أو NA)، وإدخال تحسينات مختلفة في العملية نفسها.