ان مقاييس التسارع الحديثة غالبا ما تكون صغيرة "صغيرة نظم الميكرو الميكانيكية والكهربائية" (MEMS)، وبالفعل تكون أبسط الأجهزة MEMS الممكنة، وتتألف من ما يزيد قليلا على شعاع الدعامة البارزة مع دليل الكتلة (المعروف أيضا باسم الكتلة الزلزالية).