لكن في نهاية المطاف، وأصبح خط عرض المطلوب أضيق مما كان ممكنا باستخدام مصابيح الزئبق، وبالقرب من منتصف العقد الماضي، وصناعة أشباه الموصلات تحركت صوب steppers أن يعمل الكريبتون، فلوريد (ينتج KrF) ليزر تنتج 248 نانومتر ضوء.