تبعثر الأشعة السينية بزاوية صغيرة وتختصر التسمية إلى (SAXS) وهو تقنية ، حيث يسجل التبعثر المرن للأشعة السينية (بأطوال موجات 0,1... 0,2 نانومتر) عند زوايا صغيرة للغاية (عادة بين 0,1 - 10°) إثر سقوطها على عينة غير متجانسة في المجال النانوي.