2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const int MOD = 1e9 + 7;
const int N = 1 << 21;
int cnt[N];
int pw2[21];
int main() {
  pw2[0] = 1;
  for (int i = 1; i <= 20; i++) {
    pw2[i] = pw2[i - 1] * 2 % MOD;
  }
  int n;
  cin >> n;
  for (int i = 0; i < n; i++) {
    int x;
    cin >> x;
    cnt[x]++;
  }
  for (int i = 0; i < 21; i++) {
    for (int j = 0; j < 1 << 21; j++) {
      if (j >> i & 1) {
        cnt[j - (1 << i)] += cnt[j];
      }
    }
  }
  int ans = pw2[n];
  for (int i = 1; i < 1 << 21; i++) {
    int tot = 0;
    for (int j = 0; j < 21; j++) {
      if (i >> j & 1) tot++;
    }
    if (tot & 1) {
      ans += MOD - pw2[cnt[i]];
    } else {
      ans += pw2[cnt[i]];
    }
    if (ans >= MOD) ans -= MOD;
  }
  cout << ans << endl;
  return 0;
}
