2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
long long n, z[1 << 20], p[1000005], ans, a;
int main(void) {
  scanf("%I64d", &n);
  for (int i = 0; i < n; i++) {
    scanf("%I64d", &a);
    z[a]++;
  }
  p[0] = 1;
  for (int i = 1; i <= n; i++) p[i] = p[i - 1] * 2LL % 1000000007;
  for (int i = 0; i < 20; i++)
    for (int j = 0; j < 1 << 20; j++)
      if (!(j >> i & 1)) z[j] += z[j | (1 << i)];
  for (int i = 0; i < 1 << 20; i++) {
    a = 0;
    for (int j = 0; j < 20; j++)
      if (i >> j & 1) a++;
    if (a % 2)
      ans = (ans + 1000000007 - p[z[i]]) % 1000000007;
    else
      ans = (ans + p[z[i]]) % 1000000007;
  }
  printf("%I64d\n", ans);
}
