2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <iostream>
#include <cstring>
#include <cstdio>
#include <vector>
#include <string>
#include <algorithm>
#include <queue>
#include <map>
#include <cmath>
#include<complex>
#define eps 1.0e-9
using namespace std;
#define inf 1000000
#define mo 1000000007
typedef __int64 LL;

int n;
long long box[5000001];

void tf(long long a[],int l,int r)
{
    if(l+1==r)return ;
    int mid=(l+r)>>1,len=mid-l;
    tf(a,l,mid);tf(a,mid,r);
    for(int i=0;i<len;i++) {
        a[l+i]+=a[mid+i];
        a[l+i]%=mo;
    }
        
}
void utf(long long a[],int l,int r)
{
    if(l+1==r)return ;
    int mid=(l+r)>>1, len=mid-l;
    for(int i=0;i<len;i++) {
        a[l+i] -= a[mid+i];
        a[l+i] = (a[l+i] % mo + mo) % mo;
    }
    utf(a,l,mid); utf(a,mid,r);
}

long long pow_mod(long long a, long long b) {
    long long res = 1;
    while(b != 0) {
        if(b & 1) {
            res = res * a;
            res %= mo;
        }
        b >>= 1;
        a = a * a;
        a %= mo;
    }
    return res;
}

int main()
{
    scanf("%d", &n);
    int mx = 0;
    for(int i = 1, a; i <= n; i++) {
        scanf("%d", &a);
        mx = max(mx, a);
        box[a]++;
    }

    int l = 1;
    while(l <= mx) l <<= 1;

    tf(box, 0, l);

    for(int i = 0; i < l; i++) {
        box[i] = pow_mod(2, box[i]);
    }

    utf(box, 0, l);

    printf("%I64d\n", box[0]);
    return 0;
} 