2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const int mod = 1e9 + 7;
const int maxn = 1e6 + 5;
int n;
int a[maxn];
int dp[(1 << 21)][21];
long long powmod(long long x, long long y, long long m) {
  long long z = x % m;
  if (!y) return 1;
  if (y & 1)
    return z * powmod(z * z, (y - 1) / 2, m) % m;
  else
    return powmod(z * z, y / 2, m) % m;
}
int main() {
  scanf("%d", &n);
  for (int i = 0; i < n; i++) scanf("%d", &a[i]);
  for (int i = 0; i < n; i++) dp[a[i]][0]++;
  for (int i = 1; i < 21; i++) {
    for (int j = 0; j < (1 << 21); j++) {
      if ((j >> (i - 1)) & 1)
        dp[j][i] = dp[j][i - 1];
      else
        dp[j][i] = dp[j][i - 1] + dp[j + (1 << (i - 1))][i - 1];
    }
  }
  long long ans = 0;
  for (int i = 0; i < (1 << 21); i++) {
    long long cur = powmod(2, dp[i][20], mod) - 1;
    if (__builtin_popcount(i) & 1) cur = -cur;
    ans += cur + mod;
    ans %= mod;
  }
  cout << ans << endl;
  return 0;
}
