2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
int n, f[1 << 20];
int POW[1000009];
int main() {
  scanf("%d", &n);
  for (int i = 0; i < n; i++) {
    int x;
    scanf("%d", &x);
    f[x]++;
  }
  for (int i = 1; i <= 20; i++)
    for (int j = 0; j < 1 << 20; j++) {
      if ((j & (1 << (i - 1))) == 0) f[j] += f[j + (1 << (i - 1))];
    }
  POW[0] = 1;
  for (int i = 1; i <= n; i++) POW[i] = (long long)POW[i - 1] * 2 % 1000000007;
  long long ans = POW[n];
  for (int i = 1; i < (1 << 20); i++) {
    int cnt = 0;
    for (int j = 0; j < 20; j++) {
      if (i & (1 << j)) cnt++;
    }
    if (cnt % 2 == 1)
      ans -= POW[f[i]];
    else
      ans += POW[f[i]];
    ans %= 1000000007;
    ans += 1000000007;
    ans %= 1000000007;
  }
  cout << ans << endl;
}
