2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const long long int mod = 1e9 + 7;
void add(long long int &x, long long int y) { x = (x + y) % mod; }
const int N = 1 << 20;
long long int dp[N];
long long int p2[N];
void init(void) {
  p2[0] = 1;
  for (int i = (int)(1); i < (int)(N); i++) {
    p2[i] = p2[i - 1] * 2 % mod;
  }
}
int main(void) {
  init();
  ios::sync_with_stdio(false);
  cin.tie(0);
  int n;
  cin >> n;
  vector<int> a(n);
  for (int i = (int)(0); i < (int)(n); i++) {
    cin >> a[i];
    dp[a[i]]++;
  }
  for (int i = (int)(0); i < (int)(20); i++) {
    for (int bits = (int)(0); bits < (int)(N); bits++) {
      if (bits & 1 << i) {
        dp[bits ^ 1 << i] += dp[bits];
      }
    }
  }
  for (int bits = (int)(0); bits < (int)(N); bits++) {
    dp[bits] = p2[dp[bits]];
  }
  long long int tot = 0;
  for (int bits = (int)(0); bits < (int)(N); bits++) {
    long long int tmp = dp[bits];
    if (__builtin_popcount(bits) % 2 == 1) {
      tmp = mod - tmp;
    }
    add(tot, tmp);
  }
  cout << tot << endl;
}
