2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const int N = 1e6 + 5;
const long long mo = 1e9 + 7;
long long f[N + 1], g[N + 1], b[N + 1], ans;
int n, a[N], tot;
int main() {
  scanf("%d", &n);
  for (int(i) = (1); (i) <= (n); (i)++) scanf("%d", &a[i]), f[a[i]]++;
  b[0] = 1;
  for (int(i) = (1); (i) <= (N); (i)++) b[i] = b[i - 1] * 2ll % mo;
  for (int(j) = (0); (j) <= (20); (j)++) {
    for (int(i) = (0); (i) <= (N); (i)++)
      if (i & b[j]) f[i ^ b[j]] += f[i];
  }
  for (int(i) = (0); (i) <= (N); (i)++) {
    tot = 0;
    for (int(j) = (0); (j) <= (20); (j)++)
      if (i & b[j]) tot++;
    g[tot] = (g[tot] + b[f[i]] - 1) % mo;
  }
  for (int(i) = (0); (i) <= (20); (i)++) {
    if (i % 2 == 0)
      ans = (ans + g[i]) % mo;
    else
      ans = (ans - g[i]) % mo;
  }
  printf("%lld", (ans % mo + mo) % mo);
  return 0;
}
