2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const int B = 20, T = (1 << B) + 1, MOD = (int)1e9 + 7;
int n, a[T], c[T], p2[T], dp[2][T];
inline int add(int u, int v) {
  u += v;
  return (u >= MOD) ? u - MOD : u;
}
void process() {
  for (int i = 0; i < T; i++) dp[1][i] = c[i];
  for (int i = 0; i < B; i++) {
    int s = i & 1;
    for (int j = 0; j < T - 1; j++) {
      int u = j & (1 << i);
      if (u)
        dp[s][j] = dp[s ^ 1][j];
      else {
        dp[s][j] = dp[s ^ 1][j] + dp[s ^ 1][j + (1 << i)];
      }
    }
  }
}
int main() {
  scanf("%d", &n);
  for (int i = 1; i <= n; i++) scanf("%d", a + i);
  for (int i = 1; i <= n; i++) ++c[a[i]];
  p2[0] = 1;
  for (int i = 1; i < T; i++) p2[i] = add(p2[i - 1], p2[i - 1]);
  int ans = 1;
  process();
  for (int i = 0; i < T; i++) {
    int pc = __builtin_popcount(i);
    if (pc & 1)
      ans = add(ans, MOD - p2[dp[1][i]]);
    else
      ans = add(ans, p2[dp[1][i]]);
  }
  printf("%d\n", ans);
}
