2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
int a[1000100];
const int mod = 1000000007;
int b[1 << 20];
int p[1000100];
int main() {
  int n;
  scanf("%d", &n);
  int C = (1 << 20) - 1;
  for (int i = 0; i < n; i++) {
    scanf("%d", &a[i]);
    b[a[i]]++;
  }
  for (int i = 0; i < 20; i++) {
    for (int j = 0; j < 1 << 20; j++) {
      if ((j >> i & 1) == 0) {
        b[j] += b[j | (1 << i)];
      }
    }
  }
  int ans = 0;
  p[0] = 1;
  for (int i = 0; i < n; i++) {
    p[i + 1] = (p[i] << 1) % mod;
  }
  for (int i = 0; i < 1 << 20; i++) {
    int t = p[b[i]];
    for (int j = 0; j < 20; j++) {
      if (i >> j & 1) t = -t;
    }
    if (t < 0) {
      t += mod;
    }
    ans += t;
    if (ans >= mod) {
      ans -= mod;
    }
  }
  printf("%d\n", ans);
  return 0;
}
