2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const int maxv = 1e5 + 30;
const long long mod = 1000000007;
int N;
int a[1 << 20];
int dp[22][1 << 20];
int fpow(int x, long long p) {
  long long ans = 1;
  while (p > 0) {
    if (p & 1) ans = (x * ans) % mod;
    x = (x * x) % mod;
    p >>= 1;
  }
  return (int)ans;
}
int q_pow(int x, int n, long long mod) {
  long long ans = 1, xx = x;
  for (; n > 0; n >>= 1) {
    if (n & 1) ans = ans * xx % mod;
    xx = xx * xx % mod;
  }
  return (int)ans;
}
void add(int &a, int b) {
  a += b;
  if (a < 0) a += mod;
  if (a >= mod) a -= mod;
}
int main() {
  cin >> N;
  for (int i = 0; i < N; i++) scanf("%d", &a[i]);
  sort(a, a + N);
  for (int i = 0; i < N; i++) {
    if (a[i] & 1)
      dp[0][a[i]]++, dp[0][a[i] - 1]++;
    else
      dp[0][a[i]]++;
  }
  for (int i = 0; i < 19; i++) {
    for (int j = 0; j < (1 << 20); j++) {
      int t = 1 << (1 + i);
      if (j & t)
        dp[i + 1][j] += dp[i][j], dp[i + 1][j - t] += dp[i][j];
      else
        dp[i + 1][j] += dp[i][j];
    }
  }
  int ans = 0;
  for (int j = 0; j < (1 << 20); j++) {
    int t = 1;
    for (int i = 0; i < 20; i++)
      if ((1 << i) & j) t = -t;
    int tt = q_pow(2, dp[19][j], mod);
    tt--;
    if (tt < 0) tt += mod;
    ans += t * tt;
    if (ans >= mod) ans -= mod;
    if (ans < 0) ans += mod;
  }
  cout << ans << endl;
  return 0;
}
