2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const int MAXN = (1 << 21);
const int MAXK = 1e6 + 5;
const int MOD = 1e9 + 7;
int n;
int f[MAXN], po[MAXK];
int mul(int f, int s) {
  long long temp = 1LL * f * s;
  if (temp >= MOD) {
    temp %= MOD;
  }
  return temp;
}
int add(int f, int s) {
  f += s;
  if (f >= MOD) {
    f %= MOD;
  }
  return f;
}
int sub(int f, int s) {
  f -= s;
  if (f < 0) {
    f += MOD;
  }
  return f;
}
void read_input() {
  scanf("%d", &n);
  int v;
  for (int i = 0; i < n; i++) {
    scanf("%d", &v);
    f[v]++;
  }
}
void precomp() {
  po[0] = 1;
  for (int i = 1; i <= n; i++) {
    po[i] = mul(po[i - 1], 2);
  }
  for (int i = 0; i < 20; i++) {
    for (int j = 0; j < (1 << 20); j++) {
      if ((j & (1 << i)) == 0) {
        f[j] += f[j | (1 << i)];
      }
    }
  }
}
void solve() {
  int ans = 0;
  for (int i = 0; i < (1 << 20); i++) {
    int g = __builtin_popcount(i);
    int temp = po[f[i]] - 1;
    if ((g % 2) == 0) {
      ans = sub(ans, temp);
    } else {
      ans = add(ans, temp);
    }
  }
  printf("%d\n", ans);
}
int main() {
  read_input();
  precomp();
  solve();
  return 0;
}
