2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
int n, t[1111111], u[1111111];
int p2[1111111];
long long ans = 0;
int main() {
  scanf("%d", &n);
  for (int i = (1); i <= (n); i++) {
    int a;
    scanf("%d", &a);
    t[a]++;
  }
  for (int i = (0); i <= (19); i++) {
    for (int j = (0); j <= (((1 << 20) - 1)); j++) {
      u[j] += t[j];
      if (j & (1 << i)) u[j - (1 << i)] += t[j];
    }
    for (int j = (0); j <= (((1 << 20) - 1)); j++) {
      t[j] = u[j];
      u[j] = 0;
    }
  }
  p2[0] = 1;
  for (int i = (1); i <= (n); i++) p2[i] = p2[i - 1] * 2 % 1000000007;
  int res = 0;
  for (int i = (0); i <= (((1 << 20) - 1)); i++) {
    int cb = 0;
    for (int j = (0); j <= (19); j++) cb += (i & (1 << j)) >> j;
    if (cb % 2 == 0)
      res += p2[t[i]] - 1;
    else
      res -= p2[t[i]] - 1;
    res = (res % 1000000007 + 1000000007) % 1000000007;
  }
  printf("%d\n", res);
  return 0;
}
