2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const int N = (1 << 20) + 5;
const int MO = 1e9 + 7;
int a[N], cnt[N], pw[N] = {1};
void add(int &x, int y) {
  x += y;
  if (x >= MO) x -= MO;
}
int main() {
  int n;
  scanf("%d", &n);
  for (int i = int(1); i <= int(n); i++) pw[i] = pw[i - 1], add(pw[i], pw[i]);
  for (int i = int(1); i <= int(n); i++) scanf("%d", a + i), cnt[a[i]]++;
  for (int i = int(0); i <= int((20) - 1); i++) {
    for (int j = int(0); j <= int((1 << 20) - 1); j++) {
      if ((j & (1 << i)) == 0) {
        cnt[j] += cnt[j + (1 << i)];
      }
    }
  }
  int ans = 0;
  for (int i = int(0); i <= int((1 << 20) - 1); i++) {
    if (__builtin_parity(i)) {
      add(ans, MO - pw[cnt[i]]);
    } else {
      add(ans, pw[cnt[i]]);
    }
  }
  cout << ans << endl;
  return 0;
}
