2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const long long MAXN = 1e6 + 1, MOD = 1e9 + 7;
long long MAXNUM = 1e12;
long long i, j, ans, n, dp[MAXN][25], ar[30];
vector<long long> v[21];
long long pow1(long long a) {
  if (a == 0) return 1;
  if (a == 1) return 2;
  long long b = a / 2;
  long long c = pow1(b);
  if (a % 2) {
    c = (c * c) % MOD;
    c = c * 2LL;
    c %= MOD;
    return c;
  }
  c = (c * c) % MOD;
  return c;
}
long long main() {
  cin >> n;
  for (i = 0; i < n; i++) {
    long long a;
    scanf("%lld", &a);
    dp[a][0]++;
  }
  for (i = 1; i <= 19; i++)
    for (j = 0; j < MAXN; j++) {
      if ((j >> (i - 1)) & 1)
        dp[j][i] = dp[j][i - 1];
      else {
        dp[j][i] = dp[j][i - 1];
        if (j + ((1LL << (i - 1))) < MAXN)
          dp[j][i] += dp[j + ((1LL << (i - 1)))][i - 1];
      }
    }
  for (i = 0; i < MAXN; i++) {
    ans += pow(-1, __builtin_popcount(i)) * (pow1(dp[i][19]) - 1);
    ans %= MOD;
  }
  cout << ans;
}
