2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const int m = 20;
const int mod = 1e9 + 7;
const int maxn = (1 << m);
long long d[maxn][m + 1];
int main() {
  ios::sync_with_stdio(false);
  cin.tie(0);
  cout.tie(0);
  int n, a;
  cin >> n;
  for (int i = 0; i < n; i++) {
    cin >> a;
    d[a][0]++;
    d[a][0] *= 2;
    d[a][0]--;
    d[a][0] %= mod;
  }
  for (int mask = (1 << m) - 1; mask >= 0; mask--) {
    for (int i = 1; i <= m; i++) {
      if (!((1 << (i - 1)) & mask))
        d[mask][i] =
            (d[mask][i - 1] + 1) * (d[mask ^ (1 << (i - 1))][i - 1] + 1) - 1;
      else
        d[mask][i] += d[mask][i - 1];
      d[mask][i] %= mod;
    }
  }
  long long ans = 0;
  for (int i = 0; i < (1 << m); i++) {
    if (__builtin_popcount(i) % 2 == 0)
      ans += d[i][m];
    else
      ans -= d[i][m];
    ans += mod;
    ans %= mod;
  }
  cout << ans << endl;
  return 0;
}
