2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
long long int power(long long int x, long long int y) {
  long long int res = 1;
  while (y) {
    if (y & 1) res = (res * x) % 1000000007;
    y = y / 2, x = (x * x) % 1000000007;
  }
  return res % 1000000007;
}
long long int dp[1 << 22];
signed main() {
  ios_base::sync_with_stdio(false);
  cin.tie(0);
  cout.tie(0);
  long long int n;
  cin >> n;
  long long int i, j;
  for (i = 0; i < n; i++) {
    long long int k;
    cin >> k;
    dp[k]++;
  }
  for (i = 0; i < 20; i++) {
    for (j = 0; j < (1 << 20); j++) {
      if (!(j & (1 << i))) dp[j] += (dp[j ^ (1 << i)]);
    }
  }
  for (i = 0; i < (1 << 20); i++) {
    dp[i] = (power(2, dp[i]) - 1 + 1000000007) % 1000000007;
  }
  for (i = 0; i < 20; i++) {
    for (j = 0; j < (1 << 20); j++) {
      if (!(j & (1 << i)))
        dp[j] = (dp[j] - (dp[j ^ (1 << i)]) + 1000000007) % 1000000007;
    }
  }
  cout << dp[0];
}
