2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
long long v[1000005];
long long dp[1000005];
long long f[25];
int n;
int main() {
  v[0] = 1;
  scanf("%d", &n);
  for (int i = 1; i <= 1000000; i++) {
    v[i] = (v[i - 1] << 1) % 1000000007;
  }
  for (int i = 1; i <= n; i++) {
    int x;
    scanf("%d", &x);
    dp[x]++;
  }
  for (int j = 0; j <= 20; j++) {
    for (int i = 1; i <= 1000000; i++) {
      if (((1 << j) & i)) {
        dp[i ^ (1 << j)] += dp[i];
      }
    }
  }
  long long ans = 0;
  for (int i = 0; i <= 1000000; i++) {
    int cnt = 0;
    for (int j = 0; j <= 20; j++) {
      if ((1 << j) & i) {
        cnt++;
      }
    }
    f[cnt] += ((v[dp[i]] - 1) % 1000000007 + 1000000007) % 1000000007;
  }
  for (int i = 0; i <= 20; i++) {
    if (i % 2) {
      ans -= f[i];
      ans %= 1000000007;
    } else {
      ans += f[i];
      ans %= 1000000007;
    }
  }
  printf("%I64d\n", (ans % 1000000007 + 1000000007) % 1000000007);
  return 0;
}
