2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
int a[1 << 20][21];
int d[1 << 20];
int pow1[1 << 20];
int main() {
  int i, j, n, ans, cnt, x, k;
  pow1[0] = 1;
  for (i = 1; i < (1 << 20); i++) {
    pow1[i] = pow1[i - 1] + pow1[i - 1];
    if (pow1[i] >= 1000000007) pow1[i] -= 1000000007;
  }
  for (i = 0; i < (1 << 20); i++) {
    pow1[i]--;
    if (pow1[i] < 0) pow1[i] += 1000000007;
  }
  scanf("%d", &n);
  memset(a, 0, sizeof(a));
  for (i = 0; i < n; i++) {
    scanf("%d", &x);
    a[x][20]++;
  }
  memset(d, 0, sizeof(d));
  for (i = (1 << 20) - 1; i >= 0; i--)
    for (j = 0; j < 21; j++)
      if (a[i][j] > 0) {
        d[i] += a[i][j];
        for (k = j - 1; k >= 0; k--)
          if (((1 << k) & i) != 0) a[i ^ (1 << k)][k] += a[i][j];
      }
  ans = 0;
  for (i = 1; i < (1 << 20); i++) {
    cnt = 0;
    for (j = 0; j < 20; j++)
      if (((1 << j) & i) != 0) cnt++;
    if (cnt % 2 == 0) {
      ans -= pow1[d[i]];
      if (ans < 0) ans += 1000000007;
    } else {
      ans += pow1[d[i]];
      if (ans >= 1000000007) ans -= 1000000007;
    }
  }
  ans = pow1[n] - ans;
  if (ans < 0) ans += 1000000007;
  printf("%d\n", ans);
  return 0;
}
