2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const long long MOD = (1e9) + 7;
int modPow(int b, int e) {
  if (e == 0)
    return 1;
  else if (e == 1)
    return b;
  return 1ll * modPow(1ll * b * b % MOD, e >> 1) * modPow(b, e & 1) % MOD;
}
int n, ans, f[1 << 20];
int main() {
  ios::sync_with_stdio(false);
  cin.tie(0);
  cin >> n;
  for (int i = 0, x; i < n; i++) {
    cin >> x;
    f[x]++;
  }
  for (int j = 0; j < 20; j++)
    for (int mask = (1 << 20) - 1; mask >= 0; mask--) {
      if (!(mask >> j & 1)) f[mask] = (f[mask] + f[mask | 1 << j]) % MOD;
    }
  for (int mask = 0; mask < 1 << 20; mask++) {
    int bits = __builtin_popcount(mask);
    if (bits & 1)
      ans = (ans - modPow(2, f[mask])) % MOD;
    else
      ans = (ans + modPow(2, f[mask])) % MOD;
  }
  cout << (ans + MOD) % MOD;
}
