2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const int maxv = 1e5 + 30;
const long long mod = 1000000007;
int N;
int a[1 << 20];
int dp[22][1 << 20];
int fpow(int x, long long p) {
  long long ans = 1;
  while (p > 0) {
    if (p & 1) ans = (x * ans) % mod;
    x = (x * x) % mod;
    p >>= 1;
  }
  return (int)ans;
}
void add(int &a, int b) {
  a += b;
  if (a < 0) a += mod;
  if (a >= mod) a -= mod;
}
int main() {
  cin >> N;
  for (int i = 0; i < N; i++) scanf("%d", &a[i]);
  sort(a, a + N);
  for (int i = 0; i < N; i++) {
    if (a[i] & 1)
      add(dp[0][a[i]], 1), add(dp[0][a[i] - 1], 1);
    else
      add(dp[0][a[i]], 1);
  }
  for (int i = 1; i <= 19; i++) {
    for (int j = 0; j < (1 << 20); j++) {
      if (j & (1 << i))
        add(dp[i][j], dp[i - 1][j]);
      else
        add(dp[i][j], dp[i - 1][j]), add(dp[i][j], dp[i - 1][j + (1 << i)]);
    }
  }
  int ans = fpow(2, N) - 1;
  for (int j = 1; j < (1 << 20); j++) {
    int bb = __builtin_popcount(j);
    if (bb % 2)
      add(ans, -abs(fpow(2, dp[19][j]) - 1));
    else
      add(ans, abs(fpow(2, dp[19][j]) - 1));
  }
  cout << ans << endl;
  return 0;
}
