2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
long long int mod = 1000000007;
int dp[(1 << 20) - 1];
int g[(1 << 20) - 1];
long long int modPow(int a, int n) {
  if (n == 0) return 1;
  if (n % 2 == 0)
    return (modPow(a, n / 2) * modPow(a, n / 2)) % mod;
  else
    return (modPow(a, n / 2) * modPow(a, n / 2) * a) % mod;
  ;
}
int main() {
  int n;
  cin >> n;
  for (int i = 0; i < n; i++) {
    int x;
    cin >> x;
    dp[x]++;
  }
  for (int i = 0; i < 20; i++) {
    for (int mask = (1 << 20) - 2; mask >= 0; mask--) {
      if (mask & (1 << i)) {
        dp[mask ^ (1 << i)] += dp[mask];
      }
    }
  }
  for (int i = 0; i < (1 << 20) - 1; i++) {
    g[i] = __builtin_popcount(i);
  }
  long long int ans = 0;
  for (int i = 0; i < (1 << 20) - 1; i++) {
    ans += (long long int)pow(-1, g[i]) * (modPow(2, dp[i]) - 1);
    ans = (ans + mod) % mod;
  }
  cout << ans << "\n";
}
