2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
const long long N = 20;
const long long K = 21;
const long long maxk = 1e6 + 6;
const long long maxn = 1e6;
const long long mod = 1e9 + 7;
const long long p2N = ((1 << N) - 1);
long long dp[p2N + 1], n, arr[maxk], p2[maxk], ans, tmp;
long long add(long long a, long long b, long long md) {
  long long ret = a + b;
  if (ret >= md) ret -= md;
  return ret;
}
long long dif(long long a, long long b, long long md) {
  long long ret = a - b;
  if (ret < 0) ret += md;
  return ret;
}
int main() {
  for (int i = 0; i < maxk; i++) p2[i] = (i == 0) ? 1 : (p2[i - 1] * 2) % mod;
  scanf("%lld", &n);
  for (int i = 0; i < n; i++) {
    scanf("%lld", &arr[i]);
    dp[p2N ^ arr[i]]++;
  }
  for (int i = 0; i < N; i++)
    for (int j = 0; j <= p2N; j++)
      if (!(j & (1 << i))) dp[j + (1 << i)] += dp[j];
  for (int i = 0; i <= p2N; i++) {
    if (__builtin_popcount(i) % 2 & 1)
      ans = dif(ans, p2[dp[i]], mod);
    else
      ans = add(ans, p2[dp[i]], mod);
  }
  printf("%lld\n", ans);
  return 0;
}
