2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
long long dp[2][1 << 20] = {};
long long lay[1 << 20];
void pre() {
  lay[0] = 1;
  for (int i = 1; i < 1 << 20; i++) {
    lay[i] = lay[i - 1] * 2 % 1000000007;
  }
}
int cnt(int x) {
  x = (x & 0x55555555) + ((x & 0xaaaaaaaa) >> 1);
  x = (x & 0x33333333) + ((x & 0xcccccccc) >> 2);
  x = (x & 0x0f0f0f0f) + ((x & 0xf0f0f0f0) >> 4);
  x = (x & 0x00ff00ff) + ((x & 0xff00ff00) >> 8);
  x = (x & 0x0000ffff) + ((x & 0xffff0000) >> 16);
  return x;
}
int main() {
  pre();
  int n;
  scanf("%d", &n);
  for (int i = 0; i < n; ++i) {
    int x;
    scanf("%d", &x);
    dp[0][x]++;
  }
  int op = 1;
  for (int i = 1; i < 21; i++) {
    for (int j = 0; j < 1 << 20; j++) {
      if (1 & (j >> (i - 1))) {
        dp[op][j] = dp[!op][j];
      } else {
        dp[op][j] = dp[!op][j] + dp[!op][j + (1 << (i - 1))];
      }
    }
    op = !op;
  }
  long long ans = 0;
  for (int i = 0; i < 1 << 20; i++) {
    if (cnt(i) & 1) {
      ans -= lay[dp[!op][i]];
      ans %= 1000000007;
    } else {
      ans += lay[dp[!op][i]];
      ans %= 1000000007;
    }
  }
  printf("%lld\n", ans);
}
