2
1 31
 2
1 0
 10
450661 128600 993228 725823 293549 33490 843121 903634 556169 448234
 1
1
 5
1 3 5 7 9
 6
524 529 5249 524 529 529
 3
1 2 3
 2
0 1
 55
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 2 3 4 5 6 7 8 9 3 4 5 6 7 8 9 4 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9 6 7 8 9 7 8 9 8 9 9
 16
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
 3
128 1024 2048
 10
3 3 3 5 5 3 3 3 3 5
 1
0
 2
1 2
 2
0 0
 2
1 1

0
 2
 632
 0
 0
 24
 2
 2
 621247139
 64594
 4
 0
 1
 1
 3
 0

#include <bits/stdc++.h>
using namespace std;
int const MAX_N = 1000100;
long long const MODULE = 1000000007LL;
long long const LL_INF = 1000000000000000000LL;
int s[MAX_N];
long long cnt[1 << 20];
int precalc[1 << 10];
struct pp {
  int cnt, mask;
} ms[1 << 20];
bool operator<(const pp &A, const pp &B) { return A.cnt > B.cnt; }
long long calc_it(int dg) {
  long long b = 1, a = 2;
  while (dg) {
    if (dg & 1) b = (b * a) % MODULE;
    dg >>= 1;
    a = (a * a) % MODULE;
  }
  return (b % MODULE + MODULE) % MODULE;
}
int main() {
  int n;
  scanf("%d", &n);
  for (int i = 0; i < n; i++) scanf("%d", &s[i]);
  long long g = ((calc_it(n) - 1) % MODULE + MODULE) % MODULE;
  for (int i = 0; i < n; i++) cnt[s[i]]++;
  for (int i = 0; i < (1 << 10); i++) {
    int x = i;
    int c = 0;
    while (x > 0) {
      c += x & 1;
      x >>= 1;
    }
    precalc[i] = c;
  }
  for (int i = 0; i < (1 << 20); i++) {
    ms[i].cnt = precalc[i & 1023] + precalc[i >> 10];
    ms[i].mask = i;
  }
  sort(ms, ms + (1 << 20));
  for (int i = 0; i < (1 << 20); i++) {
    int val = ms[i].mask;
    for (int j = 0; j < 20; j++)
      if ((val >> j) & 1) cnt[val ^ (1 << j)] += cnt[val];
  }
  long long ans = g;
  for (int code = 1; code < (1 << 20); code++) {
    int cnt_ones = precalc[code & 1023] + precalc[code >> 10];
    int mn = cnt[code];
    long long sp = ((calc_it(mn) - 1) % MODULE + MODULE) % MODULE;
    if (cnt_ones % 2 == 1)
      ans = ((ans - sp) % MODULE + MODULE) % MODULE;
    else
      ans = ((ans + sp) % MODULE + MODULE) % MODULE;
  }
  if (n == 1) ans = s[0] == 0;
  cout << (((ans % MODULE) + MODULE) % MODULE);
  return 0;
}
