 இந்தப் பத்தியின் அடிப்படையில், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கு (ICs) குறைக்கடத்திப் பொருட்களைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் செயல்முறைகளின் புல்லட்-பாயின்ட் பட்டியலை வழங்கவும்.
IC களுக்கான குறைக்கடத்திப் பொருட்களைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் செயல்முறைகளின் கலவை உள்ளது. ஒரு செயல்முறை வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் என்று அழைக்கப்படுகிறது, இது சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்குகிறது. இது கேட் இன்சுலேட்டராகவும், ஃபீல்ட் ஆக்சைடாகவும் பயன்படுகிறது. மற்ற செயல்முறைகள் ஃபோட்டோமாஸ்க் மற்றும் ஃபோட்டோலித்தோகிராபி என்று அழைக்கப்படுகின்றன. இந்த செயல்முறையானது ஒருங்கிணைந்த சுற்றுவட்டத்தில் உள்ள சுற்றுகளில் வடிவங்களை உருவாக்குகிறது. சுற்றுவட்டத்திற்கான வடிவங்களை உருவாக்கும் இரசாயன மாற்றத்தை உருவாக்க புற ஊதா ஒளியானது ஒரு ஒளிச்சேர்க்கை அடுக்குடன் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பொறித்தல் என்பது தேவைப்படும் அடுத்த செயல்முறையாகும். முந்தைய படியிலிருந்து ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் லேயரால் மூடப்படாத சிலிக்கானின் பகுதியை இப்போது பொறிக்க முடியும். இன்று பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய செயல்முறை பிளாஸ்மா எச்சிங் என்று அழைக்கப்படுகிறது. பிளாஸ்மா பொறித்தல் பொதுவாக பிளாஸ்மாவை உருவாக்க குறைந்த அழுத்த அறையில் செலுத்தப்படும் எட்ச் வாயுவை உள்ளடக்கியது. ஒரு பொதுவான எட்ச் வாயு குளோரோஃப்ளூரோகார்பன் அல்லது பொதுவாக அறியப்படும் ஃப்ரீயான் ஆகும். கேத்தோடிற்கும் அனோடிற்கும் இடையே உள்ள உயர் ரேடியோ அதிர்வெண் மின்னழுத்தம்தான் அறையில் பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. சிலிக்கான் செதில் கேத்தோடில் அமைந்துள்ளது, இது பிளாஸ்மாவிலிருந்து வெளியிடப்படும் நேர்மறை சார்ஜ் செய்யப்பட்ட அயனிகளால் தாக்கப்படுவதற்கு காரணமாகிறது. இதன் விளைவாக சிலிக்கான் அனிசோட்ரோபிகல் முறையில் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது. கடைசி செயல்முறை பரவல் என்று அழைக்கப்படுகிறது. இதுவே குறைக்கடத்திப் பொருளுக்குத் தேவையான குறைக்கடத்தி பண்புகளை அளிக்கும் செயல்முறையாகும். இது ஊக்கமருந்து என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. செயல்முறை ஒரு தூய்மையற்ற அணுவை கணினியில் அறிமுகப்படுத்துகிறது, இது பன் சந்திப்பை உருவாக்குகிறது. அசுத்த அணுக்களை சிலிக்கான் செதில் பதிக்க, செதில் முதலில் 1,100 டிகிரி செல்சியஸ் அறையில் வைக்கப்படுகிறது. அணுக்கள் உட்செலுத்தப்பட்டு இறுதியில் சிலிக்கானுடன் பரவுகின்றன. செயல்முறை முடிந்து, சிலிக்கான் அறை வெப்பநிலையை அடைந்த பிறகு, ஊக்கமருந்து செயல்முறை செய்யப்படுகிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி பொருள் ஒரு ஒருங்கிணைந்த சுற்று பயன்படுத்த தயாராக உள்ளது.
#ERROR!