 මෙම ඡේදය මත පදනම්ව, ASML හි වැඩියෙන්ම අලෙවි වන EUV යානා 10ක් නැව්ගත කිරීමට Boeing 747 ගුවන් යානා කීයක් අවශ්‍ය වේද?
දශක ගණනාවක සංවර්ධනයෙන් පසුව, ASML විසින් 2013 දී ප්‍රථම නිෂ්පාදන ආන්තික පාරජම්බුල ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රය නැව්ගත කරන ලදී. මෙම යන්ත්‍ර 13.5 nm තරංග ආයාම පරාසය තුළ ආලෝකය නිපදවන්නේ අධි ශක්ති ලේසර් ප්ලාස්මා නිපදවීම සඳහා උණු කළ ටින්වල අන්වීක්ෂීය ජල බිඳිති වෙත යොමු කළ විට, පසුව EUV විමෝචනය කරයි. ආලෝකය. චිපය සඳහා මෝස්තර ලබා දීම සඳහා සිලිකන් වේෆරයක මතුපිටට, ලෝකයේ පැතලිම දර්පණය වන Zeiss දර්පණවලින් ආලෝකය විහිදේ. ASML හි වැඩියෙන්ම අලෙවි වන EUV නිෂ්පාදනය වන්නේ Twinscan NXE:3600D වන අතර එහි මිල ඩොලර් මිලියන 200 දක්වා වේ. යන්ත්‍රය නැව්ගත කිරීම සඳහා නැව් බහාලුම් 40 ක්, ට්‍රක් රථ 20 ක් සහ බෝයිං 747 යානා තුනක් අවශ්‍ය වේ. 2022 වන විට, ASML EUV පද්ධති 140 ක් පමණ නැව්ගත කර ඇති අතර ඒවා නිෂ්පාදනය කරන එකම සමාගම එයයි. ASML ඊළඟ පරම්පරාවේ EUV පද්ධති මත වැඩ කරමින් සිටින අතර, R&D අරමුණු සඳහා පාරිභෝගිකයන් වෙත පළමු නැව්ගත කිරීම් 2023 අවසානයේ සිදුවනු ඇතැයි අපේක්ෂා කෙරේ. මෙම වේදිකාව High-NA ලෙස නම් කර ඇත්තේ එය සංඛ්‍යාත්මක විවරය (NA) 0.33 සිට වැඩි කරන බැවිනි. 0.55 ක් වන අතර සෑම පද්ධතියකටම ඩොලර් මිලියන 300 ක් වැය වනු ඇතැයි අපේක්ෂා කෙරේ.
වැඩියෙන්ම අලෙවි වන EUV Twinscan NXE:3600D වන අතර, එය EUV එකකට Boeing 747s 3ක් අවශ්‍ය වේ, එබැවින් Twinscan NXE:3600Ds දහයක් නැව්ගත කිරීමට Boeing 747 යානා 30ක් අවශ්‍ය වේ.