title: ASM International
text: ASM, op de Amsterdamse beurs genoteerd als ASMI, is een Nederlandse multinationale leverancier van productiemachines voor de halfgeleiderindustrie. ASM is gespecialiseerd in het ontwerp, productie, verkoop en onderhoud van wafer bewerkende machines in de productie van halfgeleiders, zoals chips. Deze machines worden door halfgeleiderfabrikanten gebruikt in hun fabrieken, ook wel ‘wafer fabs’ genoemd. Technologieën die ASM levert zijn atoomlaagdepositie, epitaxie, chemische-dampdepositie (chemical vapor deposition, CVD) en diffusie.
  
  ASM wordt beschouwd als een grondlegger van de Europese chipmachine industrie. De onderneming is in 1964 door Arthur del Prado (1931-2016) als ‘Advanced Semiconductor Materials’ opgericht. Van 2008 tot 2020 was Chuck del Prado, zoon van Arthur del Prado, CEO. ASM introduceerde verscheidende baanbrekende wafer-bewerkende productietechnieken, waaronder lithografie, depositie, ionen implantatie, epitaxie en in recentere jaren atoomlaagdepositie. Vooraanstaande leveranciers van halfgeleiderproductiemachines ASML, ASM Pacific Technology en BESI komen voort uit ASM.
  
  Het hoofdkantoor van ASM is gevestigd in Almere. De onderneming heeft R&D faciliteiten in Almere, Helsinki, Leuven (nabij IMEC), Phoenix (Arizona), Tama (Japan) en Dongtan (Zuid-Korea). Productie gebeurt voornamelijk in Singapore en Dongtan (Zuid-Korea). Daarnaast heeft ASM wereldwijd verscheidene verkoop en ondersteuningskantoren, waaronder in de Verenigde Staten, Zuid-Korea, China, Taiwan, Japan, Singapore en Israël. Eind 2021 had de onderneming 3312 personeelsleden, gevestigd in 14 landen.
  
  De aandelen van de onderneming zijn genoteerd aan de Euronext Amsterdam. Sinds maart 2020 maakt ASM deel uit van de AEX-index. ASM heeft een minderheidsbelang in ASM Pacific Technology, een onderneming gevestigd in Hong Kong en actief in assemblage, verpakkings- en montage-technieken.
  
  Technologie
  Bij de productie van een halfgeleiderchip worden verschillende types wafer-bewerkende apparaten gebruikt. De productie omvat het aanbrengen van fijnmazige patronen op een wafer met fotolithografie, de creatie van uiterst dunne laagjes op de wafer met depositie, het etsen van materiaal, thermische behandelingen en andere stappen. De machines van ASM zijn ontworpen voor de depositie van dunne laagjes materiaal op een silicium wafer. Het fabricageproces van een chip omvat honderden bewerkingsstappen waarvan een groot aantal depositie stappen zijn met gebruik van vele verschillende materialen.
  
  Het doel van chipfabrikanten – ASM’s klanten – om snellere, goedkopere, krachtigere en energiezuinigere chips te ontwerpen bepaalt de technologieontwikkeling bij de machinefabrikant. Om dit doel te bereiken worden de afmetingen van de schakelaars (transistoren) en data opslag elementen (geheugen) almaar verkleind. Hierbij wordt een tweejaarlijkse verdubbeling van het aantal componenten op een chip beoogd (zie de Wet van Moore). Om deze vooruitgang te verwezenlijken levert ASM haar klanten depositieapparatuur en -processen waarmee niet alleen steeds dunnere lagen met atomaire precisie gedeponeerd worden maar ook nieuwe materialen die de chips weer beter maken.
  
  In de afgelopen 15 jaar zijn in toenemende mate nieuwe materialen aan het chipfabricageproces toegevoegd. Deze nieuwe materialen zijn noodzakelijk om de gewenste prestatieverbeteringen (in lijn met de Wet van Moore) te verwezenlijken. Een voorbeeld betreft de vervanging van een siliciumoxide-laag in de transistor waarvan vandaag de dag miljarden in één chip geïntegreerd worden. Omdat bij het almaar verkleinen van transistoren ook het siliciumoxide steeds dunner werd kon het materiaal niet meer voldoen aan de vereisten voor goede elektrische isolatie. Het nieuwe materiaal dat wel weer hieraan kon voldoen bestaat uit hafnium (een metaal) en zuurstof. Voor dit hafniumoxide introduceerde ASM na bijna een decennium van ontwikkeling niet alleen een nieuw chemisch proces, maar bracht het ook atomic layer deposition), ofwel ALD, tot industriële wasdom. Door de transformatie van transistoren van vlakke tot driedimensionale structuren (FinFETs) hebben, naast nieuwe materialen, verfijndere depositiemethodes zoals ALD de afgelopen tien jaar in het chipfabricageproces aan belang gewonnen. ASM is marktleider in ‘single wafer’ ALD.
  
  Onderzoek
  ASM levert verschillende methodes en machines om dunne laagjes op een silicium wafer aan te brengen. De onderneming tracht voortdurend de toepasbaarheid van deze technieken te vergroten. Onderzoek is daarbij van uiterst belang. In 2021 investeerde de onderneming 151 miljoen euro aan R&D, zo’n 10% van de jaaromzet. Dit onderzoek strekt zich uit van fundamenteel onderzoek naar nieuwe materialen tot de toepassing van deze materialen in chipfabricage.
  
  Producten
  ASM ontwikkelt en verkoopt twee soorten depositiemachines. Dit betreffen machines die een laag aanbrengen op één wafer per keer (single-wafer) en machines die dit proces op meerdere wafers (multi-wafer of batch) tegelijkertijd uitvoeren. De prijzen van beide type machines variëren, maar bedragen over het algemeen meerdere miljoenen euro’s per systeem. De producten van ASM kunnen gegroepeerd worden naar depositiemethode:
  
  ALD (Atomic Layer Deposition, op Engelstalige wikipedia) is een proces waarbij op een uiterst gecontroleerde wijze een materiaal atoomlaag na atoomlaag aangebracht wordt. De laagjes worden aangebracht in een reactiecyclus, bestaande uit het opeenvolgend inbrengen van een precursor, een inert zuiveringsgas, een reactiecomponent en een laatste inert zuiveringsgas. ASM levert single-wafer ALD machines voor thermische en plasma ALD (PEALD) processen. De betreffende machines heten Synergis, Pulsar XP en EmerALD XP. Voor PEALD betreffen dit Eagle XP8 en de XP8 QCM.
  
   Epitaxie  (Epitaxy) is een proces waarbij op gecontroleerde wijze silicium en op silicium-gebaseerde materialen in hun zuivere kristalstructuur op een wafer aangebracht kunnen worden, met atomaire precisie. Het silicium-epitaxieproces kan gebruikt worden om de elektrische eigenschappen van het silicium oppervlak te veranderen als onderdeel van het maken van transistoren tijdens de fabricage van halfgeleider chips. ASM heeft de single wafer epitaxie machines Intrepid en Epsilon.
  
  CVD (Chemical vapor deposition) is een depositie-methode waarbij materialen worden opgedampt vanuit hun chemische bestanddelen in de gasfase waarbij temperatuur, gasconcentraties en de druk nauwkeurig gecontroleerd worden. ASM brengt twee types CVD machines op de markt:
  
  PECVD (Plasma Enhanced CVD) is een depositieproces waarbij het waferoppervlak aan verschillende vluchtige precursors wordt blootgesteld. Deze precursors reageren en/of vallen uiteen op het oppervlak van de wafer met behulp van de energie toegevoerd door een plasma in de reactiekamer, waardoor er een nieuwe laag op de wafer gecreëerd wordt. ASM levert single-wafer plasma-enhanced CVD (PECVD) processen op de Dragon XP8 machine.
  
  LPCVD (Low Pressure CVD) is een lage druk CVD-proces dat volgens hetzelfde principe werkt als bovenstaand PECVD-proces, maar bij LPCVD wordt de energie om het chemische proces op het waferoppervlak aan de gang te brengen en te houden toegevoerd door warmte gegeneerd in verticale ovens. ASM biedt deze LPCVD processen aan op de verticale ovens A400 DUO en A412. Dit zijn systemen van het multi-wafer type.
  
  Geschiedenis
  De jaren ’60: In 1964 richt Arthur del Prado in Bilthoven ASM op als ‘Advanced Semiconductor Materials’. In eerste instantie opereert de eenmanszaak als een handelskantoor in halfgeleiderfabrikagetechnieken. In april 1968 is de onderneming formeel geregistreerd als BV.
  
  De jaren ’70: ASM begint met de ontwikkeling, productie en verkoop van haar eigen CVD machines. In 1974 wordt Fico Toolings overgenomen, een fabrikant van halfgeleidermatrijzen gevestigd in Herwen. Een jaar later wordt in Hong Kong een verkoopkantoor geopend voor de Fico-producten, ASM Asia genaamd en nu bekend als ASM Pacific Technology (ASMPT). ASM America wordt in Phoenix (Arizona) in 1976 opgericht. De verkoop van horizontale PECVD-ovens stuwt de groei van de onderneming.
  
  De jaren ’80: ASM is in 1981 de eerste Nederlandse onderneming ooit met een directe beursnotering op de NASDAQ. Na deze beursgang breidt de onderneming snel uit. In 1982 wordt ASM Japan opgericht, de eerste volledig eigen Nederlandse dochteronderneming in dat land. Daarnaast investeert ASM in technieken als lithografie, ionenimplantatie, epitaxie en wire bonding. In 1988 doet de onderneming afstand van (haar 50%-belang in) ASML, ASM Ion Implant en brengt een jaar later ook haar in Hongkong gevestigde activiteiten als ASMPT naar de beurs in Hong Kong.
  
  De jaren ’90: De onderneming reorganiseert grondig tussen 1991 en 1994. ASM verkoopt in 1993 ASM Fico aan Berliner Elektro Holding, nu bekend als BESI. ASM richt zich op ASM Europa's verticale lagedruk-CVD ovens, ASM America's single-wafer epitaxie en ASM Japans single-wafer PECVD-reactoren. De onderneming behoudt een meerderheidsbelang in ASMPT. Vanaf 1996 is ASM ook op de Amsterdamse effectenbeurs genoteerd.
  
  De jaren ’00: ASM breidt verder uit met investeringen in atoomlaagdepositie en de ontwikkeling van producten voor een nieuwe wafer-standaard van 300mm. In 2007 slaagt de onderneming erin om atoomlaagdepositie van hafniumoxide te introduceren voor volume productie. Tegelijkertijd betwisten hedgefondsen het nut van het meerderheidsbelang in ASMPT. In 2008 wordt Arthur de Prado door zijn zoon Chuck del Prado opgevolgd. Een jaar later verhuist het hoofdkantoor van Bilthoven naar Almere.
  
  De jaren ’10: Na een wereldwijd hervormingsprogramma wordt ASM weer winstgevend. Dit programma omvat de invoering van een product-gedreven organisatie, een enkele wereldwijde verkooporganisatie, centralisatie van productie in Singapore en de oprichting van centrale afdelingen voor personeelszaken, financiën, informatietechnologie, operational excellence en arbeidsomstandigheden en milieu. PEALD, voor het helpen afbeelden van steeds kleinere patronen op de wafer, en ALD, voor nieuwe op hafniumoxide gebaseerde transistoren, leiden de groei van de onderneming. Het belang in ASMPT wordt tot 25% teruggebracht. In 2020 wordt de onderneming in de AEX-index opgenomen. Hetzelfde jaar, na 12 jaar CEO te zijn geweest, besluit Chuck del Prado om terug te treden. Hij wordt opgevolgd door Benjamin Loh.
  
  Resultaten
  In 2008 deden twee hedgefondsen met relatief grote aandelenbelangen in ASM een verzoek om een onderzoek in te stellen naar vermeend wanbeleid hetgeen gereflecteerd werd in de slechte financiële prestaties van het aandeel ASM. Er kwam een rechtszaak maar de hoogste rechter wees het verzoek van deze twee activistische aandeelhouders af. Mede op basis van de kritiek kondigden de raad van bestuur en de raad van commissarissen van ASM in april 2012 een onderzoek aan naar de onderwaardering van het bedrijf. Belangrijkste reden hiervoor was de waarde van de deelneming ASMPT, deze was hoger dan de totale beurswaarde van ASM waardoor de Europese activiteiten van ASM een negatieve waarde vertegenwoordigden. In maart 2013 volgde de verkoop van een belang van 12% in ASMPT. Hierdoor kwam het aandelenbelang op 40% en werd ASMPT gedeconsolideerd hetgeen de scherpe daling van de omzet in 2013 verklaart.
  
  ASM verkoopt haar machines wereldwijd aan halfgeleiderfabrikanten, waarbij de meerderheid van de inkomsten van Aziatische klanten afkomstig is. In 2021 werd 1,41 miljard van de totaal 1,73 miljard euro door de verkoop van machines gegenereerd. Het overige deel was afkomstig uit onderhoud en de verkoop van reserveonderdelen.
  
  Beursnotering 
  De aandelen van ASM worden sinds 1996 op de Amsterdamse Euronext beurs verhandeld. Sinds maart 2020 maakt ASM ook deel van de AEX-index uit. Door de reductie van het belang tot 25% in 2013 maken de resultaten van ASM Pacific Technology (behalve op het niveau van de nettowinst) niet langer deel uit van ASM's gepresenteerde cijfers. Tussen 1981 en 2015 stond ASM ook aan de NASDAQ genoteerd.
  
  Trivia 
  Er bestaat een organisatie met dezelfde naam ASM, waarbij de afkorting ASM oorspronkelijk stond voor de American Society for Metals. Op de naam na, heeft deze organisatie voor materiaaldeskundigen geen verwantschap met de producent van machines voor halfgeleiders.
  
  Externe links
   Officiële website ASM
    idem ASM Pacific Technology (ASMPT)
  
  Nederlands bedrijf
  Bedrijf genoteerd aan Euronext Amsterdam