Die Erfindung betrifft eine Excimerlampe, welche ein Entladungsgefass aus Silicaglas mit einem Entladungsraum aufweist, bei welcher ein Paar Elektroden so angeordnet ist, dass das Silicaglas des Entladungsgefasses sich zwischen diesen befindet, bei welcher in den Entladungsraum Entladungsgas eingefullt ist und auf der Innenoberflache des Entladungsgefasses eine UV-Reflexionsschicht gebildet ist, die aus Siliciumdioxid-Teilchen, welche OH-Radikale enthalten, und aus Feinteilchen mit einem hoheren Schmelzpunkt als Siliciumdioxid besteht. Die Konzentration der OH-Radikale in den Siliciumdioxid-Teilchen liegt bei mindestens 10 Gew.-ppm.
Excimer-Lampe