Monofluorsilan
# Monofluorsilan

Monofluorsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der Silane.

## Gewinnung und Darstellung

Monofluorsilan kann durch Reaktion von Fluormethan mit Silicium oder Reaktion von Silylmethylether mit Bortrifluorid oder Reaktion von Monochlorsilan mit Antimon(III)-fluorid gewonnen werden.

       $\mathrm {3\ SiH_{3}Cl+SbF_{3}\ \longrightarrow \ SiH_{3}F+SbCl_{3}}$

## Eigenschaften

Monofluorsilan ist ein farbloses Gas. Es besitzt als Feststoff bei 96 K eine monokline Kristallstruktur mit der Raumgruppe $P2_1/n$ (Raumgruppen-Nr. 14, Stellung 2)Vorlage:Raumgruppe/14.2 und geht bei Normaldruck direkt in den gasförmigen Zustand über.

## Verwendung

Monofluorsilan kann zur Herstellung von Siliciumschichten verwendet werden.

