Les coûts éligibles à prendre en compte sont :
   - soit les coûts d'investissement : leur montant comprend le prix de revient hors taxe des immobilisations corporelles constituées du terrain, des bâtiments et des équipements ainsi que celui des brevets. Ces investissements doivent être liés à l'activité de l'entreprise bénéficiaire et correspondre au programme primé. Ils doivent être exécutés et inscrits dans les écritures de l'entreprise bénéficiaire pendant la période de réalisation de ce programme ;
   - soit les coûts salariaux correspondant aux emplois créés, calculés sur une période de deux ans.
   Les acquisitions de matériels de transport sont exclues des coûts éligibles.
   Les matériels acquis doivent être neufs. Dans le cas des reprises d'activité, les aides précédemment accordées pour l'acquisition de matériel doivent être déduites des coûts éligibles.
   Le produit de la vente d'actifs dans le cadre du programme est déduit des coûts éligibles lorsque ces actifs sont remplacés en tout ou partie par les investissements du programme primé.
   Les investissements de remplacement ne sont pas éligibles à la prime.