Les non-métaux réagissent aussi : le phosphore réagit avec l'OF2 pour former PF5 et POF3 ; le soufre donne SO2 et SF4 ; et exceptionnellement pour un gaz noble, le xénon réagit, ce qui conduit aux oxyfluorures de xénon et de xénon XeF4.
Le phosphore réagit avec l'OF2 pour former le PF5 et le POF3, qui produit du SO2 et du SF4 avec lui.