En 1937 également, Manfred von Ardenne a lancé le microscope électronique à balayage. Le premier microscope électronique pratique a été construit en 1938, à l'Université de Toronto, par Eli Franklin Burton et les étudiants Cecil Hall, James Hillier et Albert Prebus ; et Siemens a produit le premier microscope électronique à transmission -LRB- TEM -RRB- en 1939.
Il existe plusieurs types majeurs de microscope électronique, tels que : Transmission Electron Microscope -LRB- TEM -RRB-, Reflection Electron Microscope -LRB- REM -RRB-, Scanning Electron Microscope -LRB- SEM -RRB-, Scanning Transmission Electron Microscope -LRB- STEM -RRB- et autres.