Le déisme et le théisme ont un peu changé de sens au XVIIe siècle, à cause de l'influence de l'athéisme ; le déisme a d'abord été utilisé comme synonyme du théisme d'aujourd'hui, mais même par sa première apparence, "deist" en 1621 et "deism" en 1675 avait déjà son sens moderne.
Le déisme et le théisme ont quelque peu changé de sens vers 1700 - ils ont été influencés par l'athéisme. Le déisme a d'abord été utilisé comme synonyme du théisme d'aujourd'hui, mais il est venu pour dénoter une doctrine philosophique distincte.