Для СТМ хорошим разрешением считается разрешение по горизонтали 0,1 нм и разрешение по глубине 0,01 нм.
Для STM хорошее разрешение составляет 0,1 нм по горизонтали (насколько точно он может видеть на поверхности) и разрешение по глубине 0,01 нм (насколько точно он может видеть под поверхностью).