Разрешение ПЭМ ограничено, в первую очередь, сферической аберрацией, но новое поколение корректоров аберрации смогло частично преодолеть сферическую аберрацию для повышения разрешения.
Он сочетает в себе большое увеличение ПЭМ с лучшей детализацией поверхности при помощи ПЭМ.