Его разработка в 1981 году принесла его изобретателям Герду Биннигу и Генриху Рореру (в IBM ZÃ 1 \ / 4 rich) Нобелевскую премию по физике в 1986 году.
Он был разработан в 1981 году. Его изобретатели Герд Бинниг и Генрих Рорер (из IBM ZÃ 1 \ / 4 rich) в 1986 году получили Нобелевскую премию по физике.