Микроархитектура машины обычно представлена в виде (более или менее подробных) диаграмм, которые описывают взаимосвязи различных микроархитектурных элементов машины, которые могут быть чем угодно, от отдельных вентилей и регистров до законченных ALU и даже более крупных элементов.
Микроархитектурные элементы могут быть чем угодно, от отдельных логических вентилей до регистров, справочных таблиц, мультиплексоров, счетчиков и т. Д., До завершенных ALU, FPU и даже более крупных элементов.