Микрообработка, обработка полупроводников, изготовление микроэлектроники, изготовление полупроводников, изготовление МЭМС и технология интегральных схем - это термины, используемые вместо микротехнологии, но микротехнология - это широкий общий термин.
Микротехнология состоит из слов «микро» и «изготовление».