Территория, на которой расположен город Карлайл, была впервые заселена английскими колонизаторами в 1651 году, когда эта земля принадлежала соседним городам Актон, Биллерика, Челмсфорд и Конкорд.
Карлайл был впервые заселен в 1651 году, стал частью Конкорда в 1780 году.