Деизм и теизм немного изменили значения в 17 веке из-за влияния атеизма; Изначально деизм использовался как синоним сегодняшнего теизма, но даже в своем первом появлении «деист» в 1621 году и «деизм» в 1675 году уже несли свое современное значение.
Деизм и теизм немного изменили значения около 1700 года - на них повлиял атеизм. Первоначально деизм использовался как синоним сегодняшнего теизма, но стал обозначать отдельную философскую доктрину.