Микроскоп имеет большую разрешающую способность, чем световой оптический микроскоп, потому что он использует электроны с длиной волны примерно в 100000 раз короче, чем видимый свет (фотоны), и может достигать увеличения до 2000000 крат, тогда как световые микроскопы ограничены до 2000x. увеличение.
Измеряя отраженные электроны, можно получить некоторую информацию о поверхности образца.