Bu yerda PECVDda amorf uglerodning birikishi uchun ishlatiladigan jarayon gazlarining JSON ko'rinishi va har bir gazning ulushi ko'payishi uglerodning birikish tezligiga qanday ta'sir qilishi to'g'risidagi ma'lumotlar mavjud: ```json { "amorf uglerod PECVD": { "CH4": { "ta'rif": "Metan", "qalinlik darajasi": "ko'payish", "ishonuv": 8 }, "C2H2": { "ta'rif": "Acetilen", "qalinlik darajasi": "ko'payish", "ishonuv": 9 }, "Ar": { "ta'rif": "Argon", "qalinlik darajasi": "noda-noda", "ishonuv": 10 }, "H2": { "ta'rif":
spam fails_task lang_mismatch pii not_appropriate hate_speech sexual_content quality toxicity humor helpfulness creativity violence