请从下面的文本中提取出所有的实体,文本内容以text:<>给出,实体以entity:<>给出,输出结果以{'ENTITIES':entity1,entity2...}的形式给出
system
text:<2019“银华基金杯”新浪银行理财师大赛重磅来袭，报名即可领取666元超值好礼，还有机会获得经济学家、高校教授等明星评委专业指导，拿万元奖金，上新浪头条。【点击看详情】
原标题：科创板丨中微公司(75.200,-2.70,-3.47%)自上市以来累计获得政府补助3744万元 来源：TechWeb.com.cn
【TechWeb】9月2日消息，科创板上市公司中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”，股票代码688012）发布公告称，该公司自2019年7月22日至8月30日累计获得政府共计人民币3743.94万元补助。
根据《企业会计准则第16号——政府补助》的有关规定，上述政府补助资金中，与收益相关的政府补助为人民币1241.94万元，与资产相关的政府补助为人民币2502万元。以上各项政府补助均已到账。
中微公司是一家以中国为基地、面向全球的半导体微观加工设备公司，该公司于7月22日在科创板上市。
该公司聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和 MOCVD 设备等关键设备的研发、生产和销售。
据介绍，自2004年成立以来，中微公司首先开发甚高频去耦合等离子体刻蚀设备Primo D-RIE，到目前为止已成功开发了双反应台Primo D-RIE、双反应台Primo AD-RIE和单反应台 Primo SSC AD-RIE三代刻蚀设备，涵盖65纳米、45纳米、32纳米、28纳米、22纳米、14纳米、7纳米和5纳米微观器件的众多刻蚀应用。（小狐狸）>
user
{"ENTITIES":中微半导体设备（上海）股份有限公司,7月22日,正式上市,688012,政府,中微半导体设备（上海）股份有限公司,2019年7月22日至8月30日,人民币3743.94万元,9月2日}
assistant