根據這段話,需要多少波音747才能運送ASML最<unk>銷的10架EUV?
Context:經過數十年的研發,ASML於2013年推出了第一臺生產的極紫外線光刻機. 這些機器在13.5奈米波長範圍內產生光,當高能鐳射器聚焦在<unk>化錫的微小水滴上以產生等離子體,然後發射EUV光. 光線反射到Zeiss的鏡子上, 它們是世界上最平的鏡子, ASML最<unk>銷的EUV產品是Twinscan NXE:3600D,價格高達2億美元. 需要40個集裝箱,20輛卡車和3架波音747飛機. 截至2022年,ASML已經出貨了約140個EUV系統,並且是唯一生產這些系統的公司.  目前,ASML正在研發下一代EUV系統,預計將於2023年底首次向客戶供應用於研發目的. 該平臺被指定為High-NA,因為它將從0.33增加數字光圈 (NA) 到0.55,每個系統預計將耗資3億美元.
最<unk>銷的EUV是Twinscan NXE:3600D,每臺EUV需要3架波音747飛機,因此需要30架波音747飛機才能運送10架Twinscan NXE:3600D.