وعلاوة على ذلك، كان هناك اعتراف بأن حفر بلازما الألمونيوم في صناعة أشباه الموصلات يعد مصدراً للبيوتادايين السداسي الكلور (وكالة حماية البيئة الأمريكية، 2000).
此外，半导体制造中铝的等离子体刻蚀被认为是六氯丁二烯的一个来源（美国环保局，2000年）。