1- &apos; أ` دقة في تحديد المواضع تعادل، مع &quot; جميع تدابير التعويض المتاحة &quot; ، 3.6 ميكرو متر أو أقل (أفضل) من ذلك، وفقا للقاعدة 230/2 (1997) للمنظمة الدولية لتوحيد المقاييس أو ما يعادلها من المقاييس الوطنية، على طول أي محور خطي؛
1.a. Точность позиционирования со &lt; &lt; всей доступной компенсацией &gt; &gt; равную или меньшую (лучшую) 3,6 мкм в соответствии с международным стандартом ИСО 230/2 (1997) или его национальным эквивалентом вдоль любой линейной оси; и