يوجد مقياس تسارع أخر نوع MEMS، ولكنه أقل شيوعا بكثير، ويحتوي على سخان صغير في الأسفل من قبة صغيرة جدا، والتي تسخن الهواء داخل القبة ليتسبب في ارتفاعها.
Another, far less common, type of MEMS-based accelerometer contains a small heater at the bottom of a very small dome, which heats the air inside the dome to cause it to rise.