بمجرد الانتهاء من هذه المحاذاة غرامة، ويتعرض لقطة من الضوء من نظام إضاءة والسائر في أن يمر عبر شبكاني، من خلال عدسة الحد من الفقر، وعلى سطح من رقاقة.
Once this fine alignment is completed, the shot is exposed by light from the stepper's illumination system that passes through the reticle, through a reduction lens, and on to the surface of the wafer.