وترد عناصر السائر في غرفة مغلقة أن يتم الحفاظ على درجة حرارة محددة لمنع التشوهات في أنماط المطبوعة التي قد تكون ناجمة عن توسع أو تقلص رقاقة بسبب اختلاف درجات الحرارة.
The components of the stepper are contained in a sealed chamber that is maintained at a precise temperature to prevent distortions in the printed patterns that might be caused by expansion or contraction of the wafer due to temperature variations.