ان مقاييس التسارع الحديثة غالبا ما تكون صغيرة "صغيرة نظم الميكرو الميكانيكية والكهربائية" (MEMS)، وبالفعل تكون أبسط الأجهزة MEMS الممكنة، وتتألف من ما يزيد قليلا على شعاع الدعامة البارزة مع دليل الكتلة (المعروف أيضا باسم الكتلة الزلزالية).
Modern accelerometers are often small "micro electro-mechanical systems" (MEMS), and are indeed the simplest MEMS devices possible, consisting of little more than a cantilever beam with a proof mass (also known as "seismic mass").