لكن في نهاية المطاف، وأصبح خط عرض المطلوب أضيق مما كان ممكنا باستخدام مصابيح الزئبق، وبالقرب من منتصف العقد الماضي، وصناعة أشباه الموصلات تحركت صوب steppers أن يعمل الكريبتون، فلوريد (ينتج KrF) ليزر تنتج 248 نانومتر ضوء.
Eventually however, the desired line widths became narrower than what was possible using mercury lamps, and near the middle of the 2000s, the semiconductor industry moved towards steppers that employed krypton-fluoride (KrF) excimer lasers producing 248 nm light.