وتقتصر قدرة نظام التعرض، مثل السائر، إلى حل خطوط ضيقة من الطول الموجي للضوء المستخدمة للإضاءة، والقدرة للعدسة لالتقاط الضوء (أو أوامر فعلا من الحيود) القادمة في زوايا أوسع نطاقا على نحو متزايد (وتسمى الفتحة العددية أو NA)، وإدخال تحسينات مختلفة في العملية نفسها.
The ability of an exposure system, such as a stepper, to resolve narrow lines is limited by the wavelength of the light used for illumination, the ability of the lens to capture light (or actually orders of diffraction) coming at increasingly wider angles (called numerical aperture or N.A.