ثم يتم تنظيف الرقاقة، recoated مع مقاومة للضوء، ثم مر من خلال السائر مرة أخرى في عملية تخلق الدائرة على طبقة، والسيليكون من قبل طبقة.
The wafer is then cleaned, recoated with photoresist, then passed through the stepper again in a process that creates the circuit on the silicon, layer by layer.