مرة واحدة في رقاقة وشبكاني هي في مكان والانحياز، في مرحلة ويفر، الذي يتم نقل على وجه التحديد للغاية في العاشر والاتجاهات Y (الأمام إلى الخلف واليسار إلى اليمين) بواسطة مسامير دودة أو المحركات الخطية، وتحمل الرقاقة بحيث الأول من يقع العديد من الأنماط (أو "لقطات") إلى أن يتعرض عليه تحت عدسة، مباشرة تحت شبكاني.
Once the wafer and reticle are in place and aligned, the wafer stage, which is moved very precisely in the X and Y directions (front to back and left to right) by worm screws or linear motors, carries the wafer so that the first of the many patterns (or "shots") to be exposed on it is located below the lens, directly under the reticle.