كما أن الخطوط المطلوبة وأصبحت أضيق وأضيق، وقد وضعت مصادر الإضاءة إنتاج الضوء مع موجات أقصر تدريجيا في الخدمة في مجال steppers والماسحات الضوئية.
As the required lines have become narrower and narrower, illumination sources producing light with progressively shorter wavelengths have been put into service in steppers and scanners.