على الرغم من الفلورايد (F2) الليزر متوفرة التي تنتج 157 نانومتر ضوء، فهي ليست عملية بسبب قوتها منخفضة ولأنها تتحلل بسرعة المواد التي استخدمت لصنع العدسات في السائر.
Although fluoride (F2) lasers are available that produce 157 nm light, they are not practical because of their low power and because they quickly degrade the materials used to make the lenses in the stepper.