آلات الإنتاج الحالية التي تستخدم هذه التكنولوجيا قادرة على حل الأسطر في نطاق 32 نانومتر ، وربما يكون في نهاية المطاف قادرة على تحقيق الخطوط من 30 نانومتر.
Current production machines employing this technology are capable of resolving lines in the 32 nm range, and may eventually be able to achieve lines of 30 nm.