عندما تستخدم المياه باعتبارها وسيلة، لأنه يزيد إلى حد كبير الفتحة العددية، منذ أن لديها معامل انكسار 1.44 في 193 nm، في حين أن الهواء يحتوي على مؤشر من 1.
When water is employed as the medium, it greatly increases numerical aperture, since it has a refractive index of 1.44 at 193 nm, while air has an index of 1.