The reference piece is sometimes realized by a diffractive optical element (computer-generated hologram or CGH), as this can be manufactured by high accuracy lithographic methods.
در بعضی موارد سطح مرجع توسط یک عنصر پراش دهنده اپتیکی مطالعه می‌شود، که این عناصر پراش دهنده (computer-generated hologram or CGH) می‌توانند با روش لیتوگرافی دقیق ایجاد شوند.