Parts of machines and apparatus of a kind used solely or principally for the manufacture of semiconductor boules or wafers, semiconductor devices, electronic integrated circuits or flat panel displays; parts of other special-purpose machinery
Ainult või peamiselt pooljuhtplokkide, -plaatide, pooljuhtseadiste, elektrooniliste integraallülituste või kuvarite tootmiseks kasutatavate masinate ja seadmete osad