Single crystals (including epitaxial wafers) of any of the following:
seadmed, muud kui optilise pinna hajupeegelduse mõõtmise seadmed, millel on suurem kui 10 cm mittematistatud ava ja mis on spetsiaalselt kavandatud mittetasaste optiliste pindade kuju (profiili) 2 nm või vähema (parema) täpsusega mõõtmiseks soovitud profiili suhtes. Märkus: Punkt 6B004 ei hõlma mikroskoope. 6B007