فقد قدرت تكاليف التطوير لنظام مقاومات للضوء جديد كامل للصناعة بحوالي 192 مليون دولار أمريكي للمقاوم 193nm، ومبلغ 287 مليون دولار أمريكي للمقاوم 157nm ومبلغ 218 مليون دولار أمريكي للمقاوم EUV.
The development cost of one completely new photoresists system for the industry has been estimated at US$192M for 193nm resist, US$287M for 157nm, and US$218M for EUV resist.