text: (x 0,2 нм) литографияның ажырату мүмкіндігі жоғары әдістерінің бірі. өлшемдері 0,1 мкм және одан кіші суреттерді алуға болады. рентген сәулесінің көзі арнайы нысаналар көздер), лазермен, электр ұшқынымен қоздырылатын плазманың ионизация бөлшектері (плазмалық көздер) және синхротрондар болуы мүмкін. ең көп тараған көзі көздер. жарықтандыратын сәулеленудің толқын ұзындығы нысана материалына және рентгендік спектрдің қоздырылатын сериясына (электрондар энергиясына) тәуелді, мысалы: л(мо2) 0,541 нм, х(си2) 1,33 нм. түйіспелі емес жарықтандыру әдісі тән. рентгеношаблон мен төсеніш арасында қолданылатын сынғыштығы салдарынан 10-нан 100 мкм-ге дейін саңылау болады.