text: электрондық зеңбірек - қажетті пішіндегі және қарқындағы электрондар ағынын алуға арналған құрылғы; құралдардың негізгі түйіні. электрондар кезінен (катодтан), электрондарға үдемелі қозғалыс беретін электродтан (анодттан) және электр өрісінің қажетті түрде орнығуын қамтамасыз ететін басқа да электродтардан тұрады. құралдардағы электрондық сәулелердің қарқындылығын басқару үшін электрондық зеңбірек құрамына электрлік фокустаушы электрод енгізіледі де, ондай электрондық зеңбірек электрондық прожектор деп аталады. электрондық зеңбірек электродтар санына қарай триодтық, тетродтык және пентодтық түрде жасалады. электродтар санының артуына қарай электрондық зеңбіректің ажырату қабілеті, фокустаушы және экрандаушы қасиеттері арта түседі. электрондық литография (эл) ең жоғары ажырату қабілеті бар, елшемдері мкм-ден кіші суреттер элементтерін алуға мүмкіндік беретін литография түрі. сондықтан "субмикрондық л" деп те аталады. жарықтандыру сеулеленуі ретінде энергиясы 10 30 кэв үдетілген электрондардың фокустелген шоғы пайдаланылады. электрондардың да бройльдық толқын ұзындығы аә-нің белігіндей болғандықтан (1д6