 Lórí ìpìlẹ àyọkà yìí, jọwọ fún wa ní àkọsílẹ àwọn ìgbésẹ tí a lò láti ṣètò àwọn ohun èèlò aró-ìmọ fún àwọn àyíká tí ó so kọra ICs.Context:Àpapọ àwọn ìgbésẹ tí wọn máa ń lò láti ṣètò àwọn ohun èlò aró tí wọn fi ń ṣe IC. Ọnà kan tí wọn máa ń gbà ṣe é ni pé wọn máa ń fi ooru ṣe é, èyí tó máa ń mú kí èròjà silicon dioxide wà lórí sítáṣì náà. Eyi ni a lo gẹgẹbi insulator ẹnu-ọna ati oxide aaye. Àwọn ọnà mìíràn tí wọn ń lò ni wọn ń pè ní photomasks àti photolithography. Ilana yii ni ohun ti o ṣẹda awọn apẹrẹ lori iyika ninu iyika ti a ṣepọ. A máa ń lo ìmọlẹ aláwọ àlùkò pa pọ pẹlú ọrá tí wọn fi ń gba ìmọlẹ láyè láti mú kí àwọn èròjà kẹmíkà yí padà, èyí tó máa ń mú kí àyípadà tó bá wáyé nínú àyíká náà wáyé.  Iṣẹ tí wọn máa ń ṣe lẹyìn náà ni gbígbẹ. Apá ti silisiomu ti a ko bo nipasẹ awọn photoresist Layer lati awọn ti tẹlẹ igbese le bayi wa ni etched. Ọnà pàtàkì tí wọn ń gbà ṣe é lóde òní ni èyí tí wọn ń pè ní plasma etching. Fífi omi ṣe àdàpọ omi sábà máa ń ní í ṣe pẹlú lílo gáàsì tí a fi ń ṣe àdàpọ omi tí a fi omi ṣe àdàpọ omi sínú yàrá tí a fi omi ṣe àdàpọ omi láti ṣe àdàpọ omi. Èròjà tí wọn sábà máa ń lò láti fi ṣe é ni chlorofluorocarbon, tàbí Freon tí àwọn èèyàn mọ dáadáa. Àpapọ ìfúnpá tí ó ga jùlọ láàárín cathode àti anode ni ó ń dá plasma sínú yàrá náà. Àpótí silikoni náà wà ní orí katódì, èyí tí ó mú kí àwọn ion tí wọn fi ẹmí rere kún inú rẹ tí wọn tú jáde láti inú ẹrọ plasma. Ìyọrísí rẹ ni silíkiónì tí wọn fi ọnà tí kò bára dé ṣe.  Ìgbésẹ tó kẹyìn yìí ni wọn ń pè ní fífa nǹkan jáde. Eyi ni ilana ti o fun awọn ohun elo semiconductor awọn ohun elo semiconductor ti o fẹ. Wọn tún máa ń pè é ní doping. Ìgbésẹ yìí máa ń mú kí átọọmù aláìmọ kan wọ inú ètò náà, èyí tó máa ń dá ìsopọ pn sílẹ. Kí àwọn èròjà tó jẹ aláìmọ tó wà nínú àwọn èròjà náà tó lè di èyí tí wọn ń pè ní silicon wafer, wọn á kọkọ gbé wafer náà sínú iyàrá kan tí wọn ti ń mú kó móoru gan-an, ìyẹn iyàrá kan tí wọn ti ń mú kó móoru gan-an. Wọn á fi àwọn átọọmù náà sínú rẹ, wọn á sì dà pọ mọ sítíkónì náà níkẹyìn. Lẹyìn tí ètò náà bá parí tí sìlíọnù náà sì ti dé inú iyàrá, ètò ìfúnpá náà ti parí tí ohun èlò alágbèéká náà sì ti wà ní sẹgbẹẹ láti lò nínú àyíká tí ó so kóòtù pọ. : - Ìmúdàpọ nínú ooru -Fótómásìkìfótólítógíràfíìkì - Fífi nǹkan gùn ní pàtàkì fífi nǹkan gùn pẹlú omi inú omi - Ìkápáìdánilórúkọsílẹ 